[發明專利]帶編碼光罩子版制造方法在審

申請號：	201410648593.2	申請日：	2014-11-14
公開（公告）號：	CN104460239A	公開（公告）日：	2015-03-25
發明（設計）人：	杜武兵;馮俊;林偉	申請（專利權）人：	深圳市路維光電股份有限公司
主分類號：	G03F7/20	分類號：	G03F7/20
代理公司：	深圳市維邦知識產權事務所 44269	代理人：	黃莉
地址：	518000 廣東省深圳市南***	國省代碼：	廣東;44
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	編碼罩子制造方法
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

技術領域

本發明涉及光罩技術領域，具體涉及一種帶編碼光罩子版制造方法。?

背景技術

隨著現如今電子產業的高速發展，光罩應用也隨之擴大，目前光罩在TP、LED、IC等制造行業中應用廣泛，也是各行業必不可少的重要模具之一。傳統的光罩制作過程如下：在以蘇打玻璃或石英玻璃為基材，在其表面上鍍一層鉻（Cr）層形成遮光層，再在鉻層上面鍍一層氧化鉻層，最后在氧化鉻層表面涂覆一層感光膠；使用軟件控制曝光裝置對其進行電子束曝光或激光曝光；再通過化學反應，即通過化學藥液對感光膠及部分鉻層去除從而形成設計者所需的圖形圖案，將圖形圖案鉻印在玻璃基版上即成為光罩。?

光罩又分為光刻板和子版，光刻板是指通過電子束光刻或激光光刻所制作出來的光罩，其優點在于圖形圖案可以通過設計者隨意變化，但制作的時間較長。子版是指通過光源將光刻板的圖形圖案復制到另外一張版上所形成的光罩。其優點在于制作時間非常短，但圖形圖案較單一，只能與提供的光刻板上的圖形圖案一模一樣，且效果相反。?

一般光罩上所鉻印的圖形圖案大小為微米或納米級別，在光罩較多時，特別是圖形圖案都一模一樣時，肉眼一般第一時間很難準確分辨并找出那個光罩是自己所需的，為了快速的分辨光罩，我們會在制作光罩時，通過電子束光刻或激光光刻方式，在光罩邊緣加一些由漢字和英文字母組成的文件名，或在光罩邊緣加一些條碼，英文為Bar?code，記錄光罩所運用的領域和制作時間等信息，以便于區分光罩。但在子版制作時，一張光刻版（后面稱之為母版）最多可以復制100多張子版，因子版的圖形圖案及文件名都是一模一樣的，使用者很難有效地區分，在產線上也就會或多或少的帶來一些麻煩。因為技術方面的限制，在制作子版時，傳統的方法有：1、不添加條碼，此方法不能有效地區分子版；2、通過手寫的方式，在子版光刻后顯影前用尖銳的鐵針在子版邊緣寫上編碼，以便區分。手寫方法能夠實現區分子版的目的，但存在一些不足，?如顯影前因不能有效地區分圖形區和非圖形區，手寫編碼時很容易將編碼寫到圖形區內，導致報廢。?

發明內容

有鑒于此，提供一種安全性高、操作性強的帶編碼光罩子版制造方法，以方便區分和管理光罩子版。?

一種帶編碼光罩子版制造方法，其包括如下步驟：?

提供光罩母版，在母版上形成光罩圖案；

在一個透光片上制作條碼，將透光片置于光罩母版非圖案的邊緣，并使條碼面對光罩母版；

選取具有光刻膠層的子版版材，將光罩母版置于子版版材上，并使光罩圖案面對于光刻膠層；

將放置好的透光片、光罩母版及子版版材進行曝光，顯影，蝕刻，在子版版材上形成所需編碼，制得所需光罩子版。

與現有技術相比，上述帶編碼光罩子版制造方法至少具有以下益處：?

1.?通過上述方法給子板添加編碼，方便了在子板圖形圖案和文件名相同時，更有效的進行區分；

2.?通過上述方法給子板添加編碼，安全性高，避免了子板的報廢；

3.?通過上述方法添加的編碼較清晰、美觀，且可通過掃碼器進行掃碼記錄，更方便使用者進行統一區分和管理；

4.?透光片的條碼可以根據需要任意設置，而且，可通過更換透光片的方法來更換子版編碼，從而制作不同編碼的光罩子版，極大地提升了子版編碼化的操作性，避免了傳統工藝的繁瑣與復雜。