[發(fā)明專利]帶編碼光罩子版制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410648593.2
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN104460239A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜武兵;馮俊;林偉
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市維邦知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 44269
• 代理人: 黃莉

1.一種帶編碼光罩子版制造方法，其包括如下步驟：

提供光罩母版，在母版上形成光罩圖案；

在一個透光片上制作條碼，將透光片置于光罩母版非圖案的邊緣；

選取具有光刻膠層的子版版材，將光罩母版置于子版版材上，并使光罩圖案面對于光刻膠層；

將放置好的透光片、光罩母版及子版版材進行曝光，顯影，蝕刻，在子版版材上形成所需編碼，制得所需光罩子版。

2.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片長度寬于光罩母版或子版版材6-10mm。

3.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片長邊方向兩端分別突出于光罩母版或子版版材3-8mm。

4.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片放置時使條碼面對光罩母版，所述透光片制作的條碼圖案與所需光罩子版的編碼圖案相反。

5.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片的透光率在80%以上，所述透光片的厚度為0.1-0.8mm。

6.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述子版版材包括基底、基底上的鉻層，所述光刻膠層形成于所述鉻層上。

7.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述條碼為數(shù)字編碼、字母編碼或數(shù)字與字母組合編碼或條形碼。

8.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片制作條碼及其放置于光罩母版的步驟與選取具有光刻膠層的子版版材及其放置于光罩母版的步驟同時進行或不分先后地進行。

9.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述曝光光源為汞燈，所述透光片為菲林片。

10.如權(quán)利要求1所述的帶編碼光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片和子版版材分別以層疊方式設(shè)于光罩母版沿曝光光線方向上的兩側(cè)。