[發(fā)明專利]樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置以及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410647851.5
• 申請(qǐng)日: 2014-11-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105097754B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中島泰;谷口智行;芳原弘行;寺田隼人;北井清文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L23/495
• 分類號(hào): H01L23/495;H01L21/60
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

得到一種樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置以及樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的制造方法，在防止導(dǎo)線之間的短路并確保適當(dāng)?shù)慕^緣距離的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)小型化。樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置(20)具有：半導(dǎo)體元件(3)；用于向半導(dǎo)體元件(3)通電的引線框(2)；以及將半導(dǎo)體元件(3)和引線框(2)連接的多個(gè)導(dǎo)線(7)，半導(dǎo)體元件(3)、引線框(2)以及多個(gè)導(dǎo)線(7)被模塑樹(shù)脂封裝，多個(gè)導(dǎo)線(7)并列地排列為，在與模塑樹(shù)脂(15)的流動(dòng)方向交叉的方向上延伸，在該樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置(20)中，流動(dòng)方向的下游側(cè)的導(dǎo)線(7)的配線長(zhǎng)度，大于或等于流動(dòng)方向的上游側(cè)的導(dǎo)線(7)的配線長(zhǎng)度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種樹(shù)脂封裝型的功率用半導(dǎo)體裝置以及樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的制造方法，涉及一種確保內(nèi)在環(huán)形導(dǎo)線的可靠性的方法。

背景技術(shù)

作為現(xiàn)有的半導(dǎo)體裝置，已知將內(nèi)置基板和引線框之間利用粗鋁導(dǎo)線連接的構(gòu)造(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2013－175609號(hào)公報(bào)

作為FA(Factory automation)儀器的一個(gè)例子，可以舉出逆變器、伺服放大器以及可編程邏輯控制器。在FA儀器用的功率用半導(dǎo)體裝置中，存在以下的課題。多臺(tái)FA儀器在控制板中沿水平方向排列，但如果橫寬為例如10mm寬，則在排列10臺(tái)儀器的情況下，存在控制板的寬度延伸為100mm的不良影響。在FA儀器的形態(tài)中，存在被稱為書(shū)架型的、將厚度變薄的類型。書(shū)架型的FA儀器符合用戶的小型化需求，但對(duì)于書(shū)架型的FA儀器來(lái)說(shuō)，厚度大這一點(diǎn)成為特別大的課題。

因此，存在下述期望，即，將在FA儀器中使用的功率用半導(dǎo)體裝置自身的寬度也盡可能縮小。

在制造樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置時(shí)，如果將在引線框的各處設(shè)置的電極和基板利用導(dǎo)線連接，并從水平方向向配置于模具內(nèi)的引線框以及基板注入模塑樹(shù)脂，則在模具內(nèi)模塑樹(shù)脂沿水平方向流動(dòng)。模塑樹(shù)脂在流動(dòng)時(shí)處于液化狀態(tài)，但如果液化的樹(shù)脂從與導(dǎo)線的延伸方向垂直的方向與導(dǎo)線碰撞，則發(fā)生使導(dǎo)線變形的導(dǎo)線沖歪現(xiàn)象。

在由于導(dǎo)線沖歪而使不同電壓的導(dǎo)線彼此接觸或無(wú)法確保耐電壓方面所需的絕緣距離的情況下，發(fā)生短路故障或者泄漏故障，因此產(chǎn)生下述問(wèn)題，即，需要繁雜的檢查工序，或?qū)δ軌虼_保可靠性的期間產(chǎn)生制約等。

因此，在樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置中，為了防止導(dǎo)線短路，確保適當(dāng)?shù)慕^緣距離，必須確保導(dǎo)線之間的間隔大于或等于一定距離，妨礙了樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的小型化。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于，得到一種在防止導(dǎo)線之間的短路并確保適當(dāng)?shù)慕^緣距離的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)小型化的樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置以及樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的制造方法。

為了解決上述課題，實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明的樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置具有并列地配置的多個(gè)導(dǎo)線，多個(gè)導(dǎo)線與半導(dǎo)體元件一起由模塑樹(shù)脂封裝，該樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的特征在于，多個(gè)導(dǎo)線沿模塑樹(shù)脂的流動(dòng)方向排列，流動(dòng)方向的下游側(cè)的導(dǎo)線的配線長(zhǎng)度，大于或等于流動(dòng)方向的上游側(cè)的導(dǎo)線的配線長(zhǎng)度。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，具有下述效果，即，即使導(dǎo)線變形，也不會(huì)與下游側(cè)的導(dǎo)線接觸，能夠防止短路，并且能夠確保適當(dāng)?shù)慕^緣距離。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明所涉及的樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的實(shí)施方式1的剖面圖。

圖2是實(shí)施方式1所涉及的樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的俯視圖。

圖3是實(shí)施方式1所涉及的樹(shù)脂封裝型功率用半導(dǎo)體裝置的俯視圖。

圖4是導(dǎo)線的放大圖。

圖5是從導(dǎo)線環(huán)看起來(lái)呈直線的方向示出了導(dǎo)線傾倒的過(guò)程的圖。