[發明專利]一種離子注入加速裝置

在審

• 申請號: 201410645015.3
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN105655218A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 劉艷
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子注入加速裝置，其特征包括：在高壓電極上安裝入口光欄可以 防止濺射產生的二次電子，污染離子束；高壓電極(2)、中間電極、低壓電極 (6)組成五組等梯度加速裝置，實現五次加速聚焦獲得一定能量的離子束， 其中絕緣環(5)就有抗污染和絕緣性能，均壓模塊(3)為加速裝置提供均勻 電場，防止局部高壓放電；抑制電極(7)通過絕緣瓷柱固定在抑制固定環上， 主要作用是抑制二次電子，減少加速模式下的X射線。

2.如權利要求1所述的一種離子注入加速裝置，其特征在于，入口裝置(1) 中的高壓電極上安裝入口光欄，這樣可以防止濺射，抑制二次電子的產生。

3.如權利要求1所述的一種離子注入加速裝置，其特征在于，加速裝置(2) 的五個等梯度電極之間形成均勻的電場，分級對離子束進行加速和聚焦，這樣 可以改變加速模塊組件的形狀、電場強度，以及加速裝置的電極數量或級數。

4.如權利要求1所述的一種離子注入加速裝置，其特征在于，絕緣環(5)運 用兩端密封面與電極構成一個密閉空間防止污染，并起到隔離絕緣作用，這樣 可以改變絕緣環的材料、形狀及裝配方式。

5.如權利要求1所述的一種離子注入加速裝置，其特征在于，均壓模塊(3) 由電阻、球型螺釘、均壓環構成，為加速模塊提供均勻的電場，防止高壓放電， 這樣可以改變各個部件之間的連接方式，各部件的輪廓形狀及穩壓理論。

6.如權利要求1所述的一種離子注入加速裝置，其特征在于，抑制模塊(7) 中抑制電極用絕緣瓷柱固定在抑制固定環上，并與地電極形成電場，起到屏蔽 二次電子的作用，這樣可以改變抑制電極形狀，增加或減少絕緣瓷柱，改變在 抑制固定環上的固定方法。