[發(fā)明專利]脆性材料基板的刻劃裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410638487.6
• 申請日: 2014-11-06
• 公開（公告）號: CN104803592B
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 岡島康智
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明提供一種能夠不產(chǎn)生母基板的垂落或高低起伏地以上下的刀輪精度佳地進行刻劃的刻劃裝置。該刻劃裝置具備有：前部輸送帶1a及后部輸送帶1b，是在同一水平面上隔有既定的間隙P且串聯(lián)地配置，以載置成為加工對象的脆性材料基板M并進行搬送；上部刀輪2a及下部刀輪2b，是配置于所述前部輸送帶1a與后部輸送帶1b的間隙P；以及上部空氣噴出構(gòu)件8a及下部空氣噴出構(gòu)件8b，是配置于間隙P內(nèi)、上部刀輪2a及下部刀輪2b的各個的側(cè)旁部分，以朝向脆性材料基板M的上下兩面噴出空氣。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種玻璃基板、半導(dǎo)體基板等脆性材料基板的刻劃裝置。本發(fā)明尤其是關(guān)于一種貼合有玻璃基板的液晶顯示面板用母基板的刻劃裝置。

背景技術(shù)

液晶顯示面板用母基板，是使用2片大面積玻璃基板，在一基板上形成彩色濾光片，在另一基板上形成驅(qū)動液晶的TFT(Thin Film Transistor)及端子區(qū)域，而將所述2片基板貼合而成。而且，經(jīng)由刻劃步驟及裂斷步驟，藉此分斷成一個一個的單位顯示面板，切出作為制品的液晶顯示面板。

一般而言，在從母基板切出單位顯示面板的步驟中，進行藉由對母基板表面及背面，沿刻劃預(yù)定線使刀輪(亦稱刻劃輪)一邊壓接一邊相對移動，而形成相互正交的X方向及Y方向的刻劃線的刻劃步驟。之后，進行藉由沿該刻劃線施加外力使基板撓曲，而將母基板完全分斷成每一單位顯示面板的裂斷步驟。

例如在專利文獻1及專利文獻2中揭示有以在上下兩面同時進行上述刻劃步驟的方式，而不使大面積的基板反轉(zhuǎn)、且可效率佳地進行上述刻劃步驟的刻劃裝置。

圖6是概略性地表示在上下兩面同時進行刻劃步驟的現(xiàn)有習(xí)知刻劃裝置的主視圖。

在該刻劃裝置中，以隔有間隔且串聯(lián)地配置有用于載置母基板M并于Y方向進行搬送的前后一對輸送帶21a、21b。在前后的輸送帶21a、21b之間，配置有用以對母基板M的表背兩面加工相互正交的刻劃線的上部刀輪22a及下部刀輪22b。藉由使所述上部刀輪22a及下部刀輪22b一邊同時按壓母基板M的表面及背面一邊在X方向(圖6的前后方向)滾動，而在母基板M的表背兩面加工如圖7(a)所示的X方向的刻劃線S1。之后，90度旋轉(zhuǎn)母基板M，與上述同樣地使刀輪22a、22b滾動，而加工如圖7(b)所示的Y方向的刻劃線S2。Y方向的刻劃線S2的加工，亦可藉由在加工X方向的刻劃線S1后，90度旋轉(zhuǎn)刀輪22a、22b的朝向并使其滾動而進行加工。此外，在該情形中，亦可在加工Y方向的刻劃線S2后，使刀輪22a、22b的朝向進行90度旋轉(zhuǎn)，加工X方向的刻劃線S1。

將以如此方式形成有X方向及Y方向的刻劃線S1、S2的母基板M，送入裂斷裝置并從各刻劃線將其分斷，在取出單位制品M1后，將端緣部的端材區(qū)域M2廢棄。

專利文獻1：國際公開WO2005/087458號公報

專利文獻2：日本特開2010-052995號公報

在上述的刻劃裝置中，在搬送母基板M的前部輸送帶21a與后部輸送帶21b之間，必需有用于配置上下的刀輪22a、22b的一定的間隔。由于在刻劃時母基板M跨越該間隔并藉由前后的輸送帶21a、21b支持，因此在母基板M的厚度較薄的情形，存在有產(chǎn)生往下方垂落(垂下)的情形。此外，橋架輸送帶的皮帶的輪體或皮帶的表面難以提高加工精度而殘留有微細的凹凸，因此在跨越輸送帶間的母基板M較薄的情形，存在有受到皮帶的凹凸的影響而產(chǎn)生高低起伏等的情況。

一旦在母基板M產(chǎn)生有垂落或高低起伏的狀態(tài)下藉由上下的刀輪22a、22b進行刻劃，則龜裂不規(guī)則地產(chǎn)生、缺口等的損傷產(chǎn)生等而成為不良品的原因。尤其在近年來，成為加工對象的液晶顯示面板用母基板，為了低電力、高效能、精巧化，而被要求例如為厚度為0.1mm～0.15mm的薄板，從而使該問題的解決成為課題。