[發(fā)明專利]脆性材料基板的刻劃裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410638487.6 | 申請日： | 2014-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN104803592B | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 岡島康智 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/02 | 分類號： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 脆性 材料 刻劃 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種脆性材料基板的刻劃裝置，其特征在于其具備：
前部輸送帶及后部輸送帶，是在同一水平面上隔有既定的間隔且串聯(lián)地配置，以載置成為加工對象的脆性材料基板并進(jìn)行搬送；
上部刀輪及下部刀輪，是配置于所述前部輸送帶及后部輸送帶之間；以及
上部空氣噴出構(gòu)件及下部空氣噴出構(gòu)件，是配置于該前部輸送帶與后部輸送帶之間、該上部刀輪及下部刀輪的各個的側(cè)旁部分，以朝向該脆性材料基板的上下兩面噴出空氣；
該上下的空氣噴出構(gòu)件，設(shè)定成在該刀輪的周邊噴出的長度，且安裝于保持刀輪的刻劃頭，以與該刀輪一起移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脆性材料基板的刻劃裝置，其特征在于，其中，
以成為加工對象的脆性材料基板在浮起的狀態(tài)下穩(wěn)定的方式，將由該下部空氣噴出構(gòu)件所產(chǎn)生的空氣噴出壓，設(shè)定成較由該上部空氣噴出構(gòu)件所產(chǎn)生的空氣噴出壓強出相當(dāng)于對抗基板本身重的壓力量。
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