[發明專利]一種ITO靶材的陰極座優化方法

有效

• 申請號: 201410633574.2
• 申請日: 2014-11-12
• 公開（公告）號: CN104404460A
• 公開（公告）日: 2015-03-11
• 發明（設計）人: 陳建湘;陳新文;盧瑋杰;薛仁奎
• 申請（專利權）人: 永州市新輝開科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 廣東莞信律師事務所 44332
• 代理人: 吳炳賢

技術領域

本發明涉及ITO導電玻璃的制作領域，特別涉及一種ITO靶材的陰極座優化方法。

背景技術

?目前，ITO導電玻璃的制作是通過連續式磁控濺射鍍膜線制作生產的，現有的在連續式磁控濺射鍍膜線上安裝的一套ITO靶材陰極座的數量及其規格為10片50*50*6mm+9片310*60*6mm，這樣一套ITO靶材的重量為8.84kg；在連續式磁控濺射鍍膜線上裝滿ITO靶材陰極座的重量就相當大了，然而，在不影響制作ITO導電玻璃的前提下，ITO靶材陰極座的規格和重量可減少適當的范圍，以降低ITO靶材陰極座的制作成本。

發明內容

本發明的目的是針對現有技術的上述缺陷，提供一種ITO靶材的陰極座優化方法。該方法可大大減少每套ITO靶的重量，降低制作成本。

為解決現有技術的上述缺陷，本發明提供的技術方案是：一種ITO靶材的陰極座優化方法，包括以下步驟：

（1）、將若干套ITO靶材的陰極座裝在連續式磁控濺射鍍膜線上，每套ITO靶材的陰極座上設置三排磁鐵，其中兩排磁鐵的個數為10片，中間一排磁鐵的個數為9片；

（2）、設置在陰極座兩側的兩排磁鐵與中間一排磁鐵的距離均為75mm～85mm；

（3）、調節ITO靶材的陰極座上的三排磁鐵之間的間距，將陰極座兩側的兩排磁鐵之間的間距縮小為20mm～60mm。

作為本發明ITO靶材的陰極座優化方法的一種改進，第（1）步所述陰極座兩側的兩排磁鐵的磁鐵尺寸為50mm×65mm×6mm。

作為本發明ITO靶材的陰極座優化方法的一種改進，第（1）步所述中間一排磁鐵的磁鐵尺寸為300mm×50mm×6mm。

作為本發明ITO靶材的陰極座優化方法的一種改進，第（1）步所述每套ITO靶材的陰極座重量為7.99kg。

作為本發明ITO靶材的陰極座優化方法的一種改進，第（3）步所述陰極座兩側的兩排磁鐵之間的間距為165mm。

與現有技術相比，本發明的優點是：本發明對陰極座的磁鐵排列進行優化，縮短三排磁鐵間的距離20-60mm，從而縮小磁力線的分布范圍，達到縮小ITO靶材的尺寸節省ITO靶材的目的，原來每套ITO靶的尺寸為1130×195×6mm，重量約為8.84KG，對陰極座磁鐵排列進行優化后，現在每套ITO靶的尺寸為1140×165×6mm，重量約為7.99KG，這樣每套ITO靶節省0.85KG，每套ITO靶材節省成本約4335元。

具體實施方式

下面就根據對比數據具體描述本發明。

一種ITO靶材的陰極座優化方法，包括以下步驟：

（1）、將若干套ITO靶材的陰極座裝在連續式磁控濺射鍍膜線上，每套ITO靶材的陰極座上設置三排磁鐵，其中兩排磁鐵的個數為10片，中間一排磁鐵的個數為9片；

（2）、設置在陰極座兩側的兩排磁鐵與中間一排磁鐵的距離均為75mm～85mm；

（3）、調節ITO靶材的陰極座上的三排磁鐵之間的間距，將陰極座兩側的兩排磁鐵之間的間距縮小為20mm～60mm。

優選的，第（1）步所述陰極座兩側的兩排磁鐵的磁鐵尺寸為50mm×65mm×6mm。

優選的，第（1）步所述中間一排磁鐵的磁鐵尺寸為300mm×50mm×6mm。

優選的，第（1）步所述每套ITO靶材的陰極座重量為7.99kg。

優選的，第（3）步所述陰極座兩側的兩排磁鐵之間的間距為165mm。

將優化的陰極座裝在連續式磁控濺射鍍膜線的A面，B面裝優化前的陰極座，該設備屬于雙面鍍單面膜，裝好后開機做同樣的ITO玻璃產品，出來的產品分開放置，?統計ITO玻璃產品的數量，直到ITO靶材用完為止，具體實驗數據如下表：

原使用的ITO靶陰極座設計較大，導致購買一套的ITO靶材尺寸為10片50×50×6mm+9片310×60×6mm，這樣一套ITO靶材的重量為8.84kg。為了節省ITO靶材，我們重新設計陰極座的磁場，優化磁場后一套ITO靶材尺寸為10片50×65×6mm+9片300×50×6mm，這樣一套ITO靶材的重量為7.99kg，優化磁場后每套ITO靶材節省重量約為0.85kg。

由以上數據可知：兩種不同規格的ITO靶材的產量相差不大，也就是說優化陰極座導致的修改ITO靶材規格尺寸對產品的產量沒有影響，但卻可以節省ITO靶材重量，每套能節約4335元。