[發(fā)明專利]冷阱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410633193.4
• 申請日: 2014-11-11
• 公開（公告）號: CN104667565A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 谷津貴裕
• 申請（專利權(quán)）人: 住友重機械工業(yè)株式會社
• 主分類號: B01D8/00
• 分類號: B01D8/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

1.一種冷阱，配設(shè)于真空容器與用于該真空容器的真空泵之間，所述冷阱的特征在于，具備：

冷板；及

冷板容器，在排氣流路中包圍所述冷板，所述排氣流路從所述真空容器的排氣口延伸至所述真空泵的吸氣口，

所述冷板在所述冷板容器的外部具備擴張部分，所述擴張部分配置于所述真空容器內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷阱，其特征在于，

在將所述冷阱安裝于所述真空容器的狀態(tài)下，所述擴張部分從所述真空容器的排氣口沿著包圍該排氣口的所述真空容器的壁部朝向外側(cè)延伸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的冷阱，其特征在于，

所述冷板具備冷板基部，所述冷板基部以包圍所述排氣流路的中心軸的方式形成為筒狀，

所述擴張部分設(shè)于所述冷板基部的外側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的冷阱，其特征在于，

所述擴張部分經(jīng)由支承部件安裝于所述冷板基部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的冷阱，其特征在于，

所述冷板在所述支承部件與所述擴張部分之間具備導(dǎo)熱層，所述導(dǎo)熱層由比所述支承部件和/或所述擴張部分更柔軟的材料形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的冷阱，其特征在于，

所述支承部件配設(shè)于所述冷板與所述冷板容器之間的間隙。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項所述的冷阱，其特征在于，

在所述冷阱與所述真空泵的吸氣口之間設(shè)有閘閥。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的冷阱，其特征在于，

所述真空泵為渦輪分子泵。

9.一種冷阱，配設(shè)于真空容器與用于該真空容器的真空泵之間，所述冷阱的特征在于，具備：

冷板，所述冷板具備冷板基部，所述冷板基部配置于從所述真空容器的排氣口延伸至所述真空泵的吸氣口的排氣流路；及

冷板容器，所述冷板容器具備入口部，所述入口部用于將所述排氣流路連接于所述真空容器的排氣口，

所述冷板基部具備延長部分，所述延長部分超過所述入口部向所述冷板容器的外部延伸。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的冷阱，其特征在于，

所述冷板具備在所述冷板容器的外部從所述延長部分垂直延伸的擴張部分。