[發(fā)明專利]用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵

有效

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• 申請日: 2014-11-10
• 公開（公告）號: CN105649986B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設計）人: 王光玉;孔祥玲;張曉玉;雷震霖
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C29/12;F04C29/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

本發(fā)明涉及真空泵技術領域，具體地說是一種用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵。一種用于多級真空泵的防沖擊結構，包括真空泵腔體、壓力控制閥門、排氣切換閥門及沖擊管路，其中真空泵腔體上設有腔體排氣口，所述沖擊管路的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路上設有壓力控制閥門和/或排氣切換閥門。所述多級真空泵的一級真空泵腔體和二級真空泵腔體上均設有所述防沖擊結構。本發(fā)明將經過壓縮的已經達到許用排氣壓力的工作介質直接排放到排氣口處，由于壓縮過程減少，可以減少由于腔體級別壓力差產生的反流，可以提高在低真空階段的抽速。

技術領域

本發(fā)明涉及真空泵技術領域，具體地說是一種用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵。

背景技術

真空泵吸取工作介質時會由泵腔和轉子壓縮工作介質，會形成較大的壓縮比，壓縮比的數值經常為3～100之間，普遍的機械式真空泵的壓縮比為2～15之間，實際測量泵的壓縮比的方法是測量泵進氣口與排氣口的壓力，比如羅茨泵的進氣口壓力為1Pa，前級提供的背壓力為15Pa，該泵的壓縮比即位15。在固定壓縮比的條件下，多級真空泵吸取1個大氣壓力的工作介質，可以在排氣口壓力形成15個大氣壓力的理論值，根據經驗，該壓力也會在2～3個大氣壓之間，多級真空泵排氣壓力約為2大氣壓，該泵在第一級排氣口經過壓縮后已經達到排氣條件，因為管路原因，繼續(xù)流通到后面的級別，再進行壓縮。

真空泵的抽速計算為S＝Q/t，其中S：真空泵抽速；Q：抽取的氣體量；T：抽氣時間。

真空泵在工作中抽取的氣體量Q＝Q₁-Q₂，其中Q₁：理論抽速；Q₂：返流量，而返流量Q₂取決于Q₂＝ΔP/L，其中ΔP：真空泵進氣口與排氣口的壓差；L：真空泵的返流流阻，真空泵的返流流阻L是一個定值；即真空泵進氣口與排氣口的壓差會對抽速造成決定性影響。

如上所述的壓縮過程中工作介質壓力較高，相對的各個級別間的壓差也會升高，腔體的返流會增大；會影響泵在低壓段的抽速。

發(fā)明內容

針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案：

一種用于多級真空泵的防沖擊結構，包括真空泵腔體、壓力控制閥門、排氣切換閥門及沖擊管路，其中真空泵腔體上設有腔體排氣口，所述沖擊管路的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的泵排氣管路連通，所述沖擊管路上設有壓力控制閥門和/或排氣切換閥門。

所述真空泵腔體上的腔體排氣口處設有用于控制壓力控制閥門的排氣壓力傳感器。所述腔體排氣口設置于真空泵腔體的底部。

所述多級真空泵的一級腔體和二級腔體上均設有所述防沖擊結構。所述多級真空泵至少為三級真空泵。

本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是：本發(fā)明將經過壓縮的已經達到許用排氣壓力的工作介質直接排放到排氣口處，由于壓縮過程減少，可以減少由于腔體級別壓力差產生的反流，可以提高在低真空階段的抽速。

說明書附圖

圖1為本發(fā)明中防沖擊結構的結構示意圖；

圖2為本發(fā)明中具有防沖擊結構的多級真空泵的結構示意圖。

其中：1為真空泵腔體，2為排氣壓力傳感器，3為壓力控制閥，4為排氣切換閥，5為沖擊管路，10為一級腔體，11為二級腔體，12為五級腔體，13為一級防沖擊排氣結構，14為二級防沖擊排氣結構，15為泵排氣管路。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明作進一步的描述。