[發(fā)明專利]用于多級(jí)真空泵的防沖擊結(jié)構(gòu)和具有該結(jié)構(gòu)的多級(jí)真空泵有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410629537.4 | 申請日： | 2014-11-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105649986B | 公開（公告）日： | 2018-07-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王光玉;孔祥玲;張曉玉;雷震霖 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F04C25/02 | 分類號(hào)： | F04C25/02;F04C29/12;F04C29/00 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002 | 代理人： | 何麗英 |
| 地址： | 110168 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 多級(jí) 真空泵 沖擊 結(jié)構(gòu) 具有 | ||
1.一種用于多級(jí)真空泵的防沖擊結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括真空泵腔體(1)、壓力控制閥門(3)、排氣切換閥門(4)及沖擊管路(5)，其中真空泵腔體(1)上設(shè)有腔體排氣口，所述沖擊管路(5)的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級(jí)真空泵的泵排氣管路連通，所述沖擊管路(5)上設(shè)有壓力控制閥門(3)和排氣切換閥門(4)；
所述真空泵腔體(1)上的腔體排氣口處設(shè)有用于控制壓力控制閥門(3)的排氣壓力傳感器(2)；
所述防沖擊結(jié)構(gòu)可以完成該級(jí)真空泵在抽取壓力較高的工藝氣體時(shí)，并在達(dá)到該級(jí)別真空泵設(shè)定的排氣壓力時(shí)，向排氣管路進(jìn)行排氣的過程。
2.按權(quán)利要求1所述的用于多級(jí)真空泵的防沖擊結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述腔體排氣口設(shè)置于真空泵腔體(1)的底部。
3.一種具有權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述防沖擊結(jié)構(gòu)的多級(jí)真空泵，其特征在于：所述多級(jí)真空泵的一級(jí)腔體(10)和二級(jí)腔體(11)上均設(shè)有所述防沖擊結(jié)構(gòu)。
4.按權(quán)利要求3所述的多級(jí)真空泵，其特征在于：所述多級(jí)真空泵至少為三級(jí)真空泵。
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