[發(fā)明專利]一種機臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410625878.4
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN104409389B
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王海濤;汪雯;賈宏康
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G02F1/13
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11002
• 代理人: 李相雨

1.一種機臺，用于承載基板，其特征在于，包括：

本體；

銷孔，在厚度方向貫穿所述本體；

支撐銷，容納在所述銷孔中，可在厚度方向上下移動，所述支撐銷包括內(nèi)置的腔，所述支撐銷可從所述腔中向所述本體上表面噴灑防靜電液；

所述機臺還包括輸液管和儲液容器，所述輸液管與所述支撐銷的腔連通且其下端浸入所述儲液容器的防靜電液中，所述支撐銷的側(cè)壁上設(shè)置有用于噴灑所述防靜電液的通孔；

所述儲液容器包括氣動控制輸液裝置，用于控制所述輸液管的防靜電液的噴灑；所述氣動控制輸液裝置包括氣源、與所述氣源連通的輸氣管和控制氣體排放的電磁閥，所述輸氣管與所述儲液容器連通；

所述機臺還包括靜電測試裝置和控制單元，所述靜電測試裝置用于測試所述本體和/或所承載基板的靜電參數(shù)并傳送給所述控制單元，所述控制單元用于根據(jù)測得的所述靜電參數(shù)控制所述電磁閥的開閉和所述支撐銷的升降，從而控制防靜電液的噴灑；

所述靜電測試裝置測試的所述靜電參數(shù)為從第一設(shè)定電壓到第二設(shè)定電壓的靜電消散時間，其中第一設(shè)定電壓高于第二設(shè)定電壓；

所述控制單元還用于根據(jù)所述靜電參數(shù)的大小，分為多個級別，根據(jù)級別控制所述電磁閥的開啟時間和/或開啟檔位。

2.如權(quán)利要求1所述的機臺，其特征在于，所述支撐銷為多個，所述多個支撐銷噴灑的防靜電液能覆蓋整個所述本體的上表面。

3.如權(quán)利要求1所述的機臺，其特征在于，所述支撐銷為多個，所述輸液管包括輸液總管和與所述輸液總管連通的多個分支管，所述輸液總管的總輸入口通過開口與所述儲液容器連通，每個所述分支管的輸出口與一個所述支撐銷的腔連通。

4.如權(quán)利要求1所述的機臺，其特征在于，還包括報警單元，與所述控制單元相連，當(dāng)所述靜電參數(shù)超出閾值時，所述控制單元控制所述報警單元發(fā)出警示信息。

5.如權(quán)利要求1所述的機臺，其特征在于，所述本體的上表面設(shè)置有凹陷，所述靜電測試裝置置于所述凹陷中。