[發(fā)明專利]一種機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410625878.4
• 申請(qǐng)日: 2014-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN104409389B
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王海濤;汪雯;賈宏康
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;G02F1/13
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11002
• 代理人: 李相雨

1.一種機(jī)臺(tái)，用于承載基板，其特征在于，包括：

本體；

銷孔，在厚度方向貫穿所述本體；

支撐銷，容納在所述銷孔中，可在厚度方向上下移動(dòng)，所述支撐銷包括內(nèi)置的腔，所述支撐銷可從所述腔中向所述本體上表面噴灑防靜電液；

所述機(jī)臺(tái)還包括輸液管和儲(chǔ)液容器，所述輸液管與所述支撐銷的腔連通且其下端浸入所述儲(chǔ)液容器的防靜電液中，所述支撐銷的側(cè)壁上設(shè)置有用于噴灑所述防靜電液的通孔；

所述儲(chǔ)液容器包括氣動(dòng)控制輸液裝置，用于控制所述輸液管的防靜電液的噴灑；所述氣動(dòng)控制輸液裝置包括氣源、與所述氣源連通的輸氣管和控制氣體排放的電磁閥，所述輸氣管與所述儲(chǔ)液容器連通；

所述機(jī)臺(tái)還包括靜電測(cè)試裝置和控制單元，所述靜電測(cè)試裝置用于測(cè)試所述本體和/或所承載基板的靜電參數(shù)并傳送給所述控制單元，所述控制單元用于根據(jù)測(cè)得的所述靜電參數(shù)控制所述電磁閥的開閉和所述支撐銷的升降，從而控制防靜電液的噴灑；

所述靜電測(cè)試裝置測(cè)試的所述靜電參數(shù)為從第一設(shè)定電壓到第二設(shè)定電壓的靜電消散時(shí)間，其中第一設(shè)定電壓高于第二設(shè)定電壓；

所述控制單元還用于根據(jù)所述靜電參數(shù)的大小，分為多個(gè)級(jí)別，根據(jù)級(jí)別控制所述電磁閥的開啟時(shí)間和/或開啟檔位。

2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述支撐銷為多個(gè)，所述多個(gè)支撐銷噴灑的防靜電液能覆蓋整個(gè)所述本體的上表面。

3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述支撐銷為多個(gè)，所述輸液管包括輸液總管和與所述輸液總管連通的多個(gè)分支管，所述輸液總管的總輸入口通過開口與所述儲(chǔ)液容器連通，每個(gè)所述分支管的輸出口與一個(gè)所述支撐銷的腔連通。

4.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括報(bào)警單元，與所述控制單元相連，當(dāng)所述靜電參數(shù)超出閾值時(shí)，所述控制單元控制所述報(bào)警單元發(fā)出警示信息。

5.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述本體的上表面設(shè)置有凹陷，所述靜電測(cè)試裝置置于所述凹陷中。