[發明專利]改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法

有效

• 申請號: 201410619896.1
• 申請日: 2014-11-06
• 公開（公告）號: CN105633199B
• 公開（公告）日: 2017-04-05
• 發明（設計）人: 葉勤燕;張永政;廖成;劉江;何緒林;劉煥明;梅軍
• 申請（專利權）人: 中物院成都科學技術發展中心
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/032
• 代理公司: 四川力久律師事務所51221
• 代理人: 曹晉玲,劉雪蓮

1.改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟(1)：銅鋅錫硫薄膜材料在恒溫管式退火爐中硒化或硫化，然后放置在電化學工作站，僅襯底和Mo背電極連接工作電極；

步驟(2)：將連接好的銅鋅錫硫薄膜材料置于無水乙醇中浸泡1～2min，除去表面顆粒雜質，高純氮氣吹干；

步驟(3)：經步驟(2)清洗后的銅鋅錫硫薄膜材料放入處理溶液中，所述處理溶液為0.001～1M/L乙基紫精二高氯酸鹽、0.001～1M/L六氟磷酸四丁胺和有機溶劑的混合溶液，所述有機溶劑選自乙腈或甲基紫精的任一種；

步驟(4)：施加電信號，1～600s后取出所述銅鋅錫硫薄膜材料，用去離子水沖洗，高純氮氣吹干，所述電信號為循環伏安電信號、恒壓電信號、恒流電信號、脈沖電壓電信號或脈沖電流電信號的任一種。

2.根據權利要求1所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，所述乙基紫精二高氯酸鹽選自乙基紫精二高氯酸鉀、乙基紫精二高氯酸鈉、乙基紫精二高氯酸鋅、乙基紫精二高氯酸鎂或乙基紫精二高氯酸銅的任一種或一種以上的混合物。

3.根據權利要求1所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，所述乙基紫精二高氯酸鹽的濃度為0.1～0.5M/L。

4.根據權利要求1所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，所述六氟磷酸四丁胺的濃度為0.1～0.4M/L。

5.根據權利要求1所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，步驟(4)中，工作溫度為18℃～25℃。

6.根據權利要求1～5任一項所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，所述電信號選自以下任一種：

A.所述電信號為循環伏安電信號，所述循環伏安電信號的電壓范圍為-1～1V；

B.所述電信號為恒壓電信號，所述恒壓電信號的電壓范圍為0.01～1.5V；

C.所述電信號為恒流電信號，所述恒流電信號的電流范圍為0.01～100mA/cm²；

D.所述電信號為脈沖電壓電信號，所述脈沖電壓電信號的電壓范圍為0.1～2V，脈沖時間為5ms，間隔時間為50ms；

E.所述電信號為脈沖電流電信號，所述脈沖電流電信號的電流范圍為0.01～100mA/cm²，脈沖時間為5ms，間隔時間為50ms。

7.根據權利要求1所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，所述銅鋅錫硫薄膜的基底選自鈉鈣玻璃、聚酰亞胺、不銹鋼、鉬箔片、鋁箔片、銅箔片或鈦箔片的任一種。

8.根據權利要求1所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，所述電化學工作站的工作模式為三電極體系，包括工作電極、參比電極和鉑網電極，所述參比電極為Pt電極，所述參比電極的電勢相對標準氫電勢為-0.72V。

9.根據權利要求2所述的改善銅鋅錫硫薄膜表面性質的電化學處理方法，其特征在于，所述乙基紫精二高氯酸鹽選自乙基紫精二高氯酸鉀或乙基紫精二高氯酸鈉的任一種。