[發(fā)明專利]一種銅鋅錫硫硒(CZTSSe)薄膜的制備工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410618905.5 | 申請日: | 2014-11-06 |
| 公開(公告)號: | CN105576076A | 公開(公告)日: | 2016-05-11 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陳玉梅 | 申請(專利權)人: | 陳玉梅 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 110179 遼寧省沈陽市渾南新*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 銅鋅錫硫硒 cztsse 薄膜 制備 工藝 | ||
技術領域
本發(fā)明是涉及一種銅鋅錫硫硒(CZTSSe)薄膜的制備工藝。
背景技術
太陽能作為一種高效的能源,具有照射普遍,儲量巨大,使用時間長久的特點,從而成為未來能源的最佳選擇。在太陽能的有效利用中,由CZTSSe材料制備的太陽能電池以其理論轉換效率高、成本低廉并且具有抗干擾、耐輻射能力強等優(yōu)點而受到各國光伏研究人員的廣泛關注。
Cu2ZnSnS4(CZTS)為Ⅰ2-Ⅱ-Ⅳ-Ⅵ4族直接帶隙。半導體材料,有鋅黃錫礦(kesterite)和黃錫礦(stannite)兩種晶體結構。CZTS材料的禁帶寬度為1.45ev,與太陽能電池所要求的最佳禁帶寬度相匹配,且具有較高的光學吸收系數(shù)(α>104/cm),因此作為太陽能電池的P型吸收層薄膜需要的厚度較小(約2μm)。此外,該材料中的各元素在地殼中的儲量豐富、無毒,環(huán)境友好,從而成為太陽能電池的最佳候選材料之一。
2010年QijieGuo等人采用納米墨汁涂覆法制備了全域轉化效率為7.2%的CZTSSe太陽能電池。Todorov研究組以肼為溶劑制得了CZTS納米顆粒,并通過旋涂法獲得了效率為9.6%CZTSSe太陽能電池。2012年ByunghaShin等人采用熱蒸發(fā)技術制備的CZTSe太陽電池也達到了8.9%的效率。目前,TeodorK.Todorov等人制備的CZTSSe太陽能電池其效率已經(jīng)達11.1%。而根據(jù)Shockley-QueisserDE理論計算,CZTS太陽能電池的理論轉換效率可以達到32.2%。但現(xiàn)在仍然存在薄膜組成成分的配比不易優(yōu)化、結構不易控制和工藝重復性低等問題,由之制造的太陽能電池轉換率仍不理想,較之理論轉換效率還有很大的提升空間。目前高效的薄膜電池所用的吸收層幾乎都是采用真空技術制備的,這需要精密昂貴的大型設備,使薄膜太陽電池的成本居高不下,而且實現(xiàn)大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)困難也較大。由于CZTS由多種元素組成,對元素配比精準度要求較高,而且多元晶格、多層界面結構、缺陷以及雜質等問題的存在增加了制備的難度。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是針對上述問題,彌補現(xiàn)有技術的不足,提出一種銅鋅錫硫硒(CZTSSe)薄膜的制備工藝;本發(fā)明薄膜在500℃的硒化退火溫度下能夠形成具有單一鋅黃錫礦結構、結晶程度較好的薄膜;而且具有貧銅的成分,隨著溫度的升高,Se元素含量增加最后趨于平穩(wěn),而S元素含量先減少后有增加趨勢。
為實現(xiàn)本發(fā)明的上述目的,本發(fā)明采用如下技術方案。
本發(fā)明一種銅鋅錫硫硒(CZTSSe)薄膜的制備工藝,具體包括如下步驟:
(1)先在反應容器中充入一定的惰性氣體,使反應容器保持一定的氣壓,然后開始升溫;
(2)在280℃下反應1h,之后經(jīng)離心洗滌,將納米顆粒從反應溶液中分離出來,在惰性環(huán)境下,烘干,分別得到兩種不同條件下的納米顆粒;
(3)將制得的CZTS納米晶粒溶于一定量的己硫醇中制成納米漿溶液,采用滴涂的方法在鈉鈣玻璃襯底上制得CZTS薄膜,并進行硒化退火處理得到CZTSSe薄膜。
作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述步驟(2)中的烘干時間為2h。
作為本發(fā)明的另一種優(yōu)選方案,所述步驟(3)中的硒化退火處理是分別在溫度為350℃、400℃、450℃、500℃、550℃下進行的。
另外,本發(fā)明以銅、鋅、錫的乙酰丙酮物、硫及油胺為初始原料,將銅、鋅、錫的乙酰丙酮物、硫按照非化學計量比(1.275mmol乙酰丙酮銅、0.9mmol乙酰丙酮鋅、0.525mmol氯化亞錫和4.5mmol硫,即Cu∶Zn∶Sn∶S=2.4∶1.8∶1∶8.5)和化學計量比(1.5mmol乙酰丙酮銅、0.75mmol乙酰丙酮鋅、0.75mmol氯化亞錫和3mmol硫,即Cu∶Zn∶Sn∶S=2∶1∶1∶4)混合加入高溫高壓釜中,并加入適量的油胺,在惰性氣體Ar的保護下,一直通入惰性氣體,對反應進行保護,隔絕氧氣的影響。
本發(fā)明的有益效果是。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





