[發明專利]用于硅烷色譜分析的采樣系統

無效

• 申請號: 201410618149.6
• 申請日: 2014-11-06
• 公開（公告）號: CN104316625A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 莊鴻濤;郁光;方華
• 申請（專利權）人: 上海華愛色譜分析技術有限公司
• 主分類號: G01N30/20
• 分類號: G01N30/20
• 代理公司: 上海浦東良風專利代理有限責任公司 31113
• 代理人: 陳志良

技術領域

本發明涉及一種色譜分析的采樣系統，特別是公開一種針對硅烷色譜分析的采樣系統，通過吹掃氣路和尾氣吸收裝置以及合理的氣路設計使得在硅烷采樣中排除了空氣干擾，也提供了采樣安全性。

背景技術

硅烷在常溫常壓下為無色、有毒、非常活躍的壓縮氣體。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。在色譜分析硅烷的采樣過程中，進樣管道殘留的空氣對實驗的分析結果有很大影響，并且可能會造成管道堵塞和損壞儀器。且進樣分析后殘留的硅烷可能會產生安全隱患。

發明內容

本發明的目的是解決現有技術的問題，設計一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，采用吹掃氣路和尾氣吸收裝置以及合理的氣路設計并利用高純氦氣在采樣系統進行分析的前后對整個系統進行吹掃，確保管路無殘留空氣，使得在硅烷采樣中排除了空氣干擾，減少實驗誤差，同時保障了采樣的安全性。

本發明是這樣實現的：一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，包括樣品進氣氣路、吹掃氣進氣氣路、截止閥、過濾器、氣路三通、流量計、分析單元和尾氣處理系統，其特征在于：所述的采樣系統設有一路樣品進氣氣路和兩路吹掃氣進氣氣路，所述的過濾器10和流量計11設于進入分析單元12的氣路上，所有尾氣都進入尾氣處理系統13。

所述的采樣系統中樣品進氣氣路1串接第一減壓閥4后與第一氣路三通15連接；第一吹掃氣進氣氣路2串接第二減壓閥5后再和第一氣路三通15連接，在第二減壓閥5和第一氣路三通15之間設有第一截止閥7；第二吹掃氣進氣氣路3串接第三減壓閥6后直接連接到尾氣處理系統13上。

所述的第一氣路三通15和第二氣路三通16相連，再依次串接第二截止閥8、過濾器10和流量計11后與分析單元12連接，第二氣路三通16與第三氣路三通17間還串接有第三截止閥9，分析單元12排出的尾氣通過第三氣路三通17接入尾氣處理系統13。

所述的尾氣處理系統13采用裝有10%NaOH的溶液的洗氣瓶，所述的洗氣瓶上部設有三路氣路，一路連接第三氣路三通17，接收第三氣路三通17排出的尾氣，一路連接第三減壓閥6，接收第三減壓閥6排出的吹掃氣，另一路連接排空口14。

本發明的有益效果是：本發明設計采用兩路吹掃氣進氣氣路進行吹掃管路，避免了管路中的空氣和硅烷殘留對色譜分析造成的不利因素，減少實驗誤差，也加強了硅烷采樣的安全性。

附圖說明

圖1??是本發明采樣系統結構示意圖。

圖中：1、樣品進氣氣路；?2、第一吹掃氣進氣氣路；?3、第二吹掃氣進氣氣路；?4、第一減壓閥；?5、第二減壓閥；?6、第三減壓閥；?7、第一截止閥；?8、第二截止閥；?9、第三截止閥；??10、過濾器；?11、流量計；?12、分析單元；?13、尾氣處理系統；?14、排空口；?15、第一氣路三通；?16、第二氣路三通；?17、第三氣路三通。

具體實施方式

根據附圖，本發明一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，包括樣品進氣氣路、吹掃氣進氣氣路、截止閥、過濾器、氣路三通、流量計、分析單元和尾氣處理系統。

本發明采樣系統設有一路樣品進氣氣路1和兩路吹掃氣進氣氣路，即第一吹掃氣進氣氣路2和第二吹掃氣進氣氣路3。過濾器10和流量計11設于進入分析單元12的氣路上，采用系統所有的尾氣都進入尾氣處理系統13。

本發明采樣系統中樣品進氣氣路1串接第一減壓閥4后與第一氣路三通15連接。第一吹掃氣進氣氣路2串接第二減壓閥5后再和第一氣路三通15連接，在第二減壓閥5和第一氣路三通15之間設有第一截止閥7。第二吹掃氣進氣氣路3串接第三減壓閥6后直接連接到尾氣處理系統13上。第一氣路三通15和第二氣路三通16相連，再依次串接第二截止閥8、過濾器10和流量計11后與分析單元12連接。第二氣路三通16與第三氣路三通17間還串接有第三截止閥9。分析單元12排出的尾氣通過第三氣路三通17接入尾氣處理系統13。尾氣處理系統13采用裝有10%NaOH的溶液的洗氣瓶，洗氣瓶上部設有三路氣路，一路連接第三氣路三通17，接收第三氣路三通17排出的尾氣，一路連接第三減壓閥6，接收第三減壓閥6排出的吹掃氣，另一路連接排空口14。

本發明采樣工作具體步驟如下：

（1）打開第一吹掃氣進氣開關，通過第一吹掃氣進氣氣路2并利用第二減壓閥5控制吹掃氣的壓力和流量，打開第一截止閥7和第三截止閥9，對采用系統氣路開始吹掃，通過打壓方式吹3～5遍。

（2）關閉第三截止閥9并打開第二截止閥8，對氣路開始吹掃，通過打壓方式吹至3～5遍。