[發明專利]用于硅烷色譜分析的采樣系統

無效

• 申請號: 201410618149.6
• 申請日: 2014-11-06
• 公開（公告）號: CN104316625A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 莊鴻濤;郁光;方華
• 申請（專利權）人: 上海華愛色譜分析技術有限公司
• 主分類號: G01N30/20
• 分類號: G01N30/20
• 代理公司: 上海浦東良風專利代理有限責任公司 31113
• 代理人: 陳志良

1.一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，包括樣品進氣氣路、吹掃氣進氣氣路、截止閥、過濾器、氣路三通、流量計、分析單元和尾氣處理系統，其特征在于：所述的采樣系統設有一路樣品進氣氣路和兩路吹掃氣進氣氣路，所述的過濾器（10）和流量計（11）設于進入分析單元（12）的氣路上，所有尾氣都進入尾氣處理系統（13）。

2.根據權利要求?1?所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統，其特征在于：所述的采樣系統中樣品進氣氣路（1）串接第一減壓閥（4）后與第一氣路三通（15）連接；第一吹掃氣進氣氣路（2）串接第二減壓閥（5）后再和第一氣路三通（15）連接，在第二減壓閥（5）和第一氣路三通（15）之間設有第一截止閥（7）；第二吹掃氣進氣氣路（3）串接第三減壓閥（6）后直接連接到尾氣處理系統（13）上。

3.根據權利要求?1或2?所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統，其特征在于：所述的第一氣路三通（15）和第二氣路三通（16）相連，再依次串接第二截止閥（8）、過濾器（10）和流量計（11）后與分析單元（12）連接，第二氣路三通（16）與第三氣路三通（17）間還串接有第三截止閥（9），分析單元（12）排出的尾氣通過第三氣路三通（17）接入尾氣處理系統（13）。

4.根據權利要求?1或2所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統，其特征在于：所述的尾氣處理系統（13）采用裝有10%NaOH的溶液的洗氣瓶，所述的洗氣瓶上部設有三路氣路，一路連接第三氣路三通（17），接收第三氣路三通（17）排出的尾氣，一路連接第三減壓閥（6），接收第三減壓閥（6）排出的吹掃氣，另一路連接排空口（14）。