[發(fā)明專利]一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410614642.0 | 申請日： | 2014-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN104476686A | 公開（公告）日： | 2015-04-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 杜雪冬;王景然;崔偉;李帥;危晨;趙越;王龍;郭剛剛;王巖;徐強 | 申請（專利權(quán)）人： | 內(nèi)蒙古中環(huán)光伏材料有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 010070 內(nèi)蒙古自治*** | 國省代碼： | 內(nèi)蒙古;15 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 使用 超高 密度 金剛石 切割 太陽 能級 硅片 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種切割太陽能級硅片的方法，特別是涉及一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法。
背景技術(shù)：
目前，金剛石線切割太陽能單晶硅片，金剛石線上的金剛石顆粒密度為50-70顆/毫米，切割速度為0.6～0.8mm/min，出刀速度為0.2～0.25mm/min。在太陽能級硅片加工過程中，硅片存在表面微觀損傷、粘膠面崩邊或缺口等現(xiàn)象，在周轉(zhuǎn)運輸過程中受到外力作用時，易發(fā)生延硅片表面微觀損傷的中心隱裂，及其崩邊缺口的邊角隱裂破碎的情況，造成硅片碎片率高，通常為了解決這一問題，需在收刀時以較小切割速度收刀，以降低崩邊缺口的產(chǎn)生，這樣就降低了切割速度，增加了切割用時，降低了設(shè)備產(chǎn)能，制約了生產(chǎn)力的發(fā)展。
發(fā)明內(nèi)容：
本發(fā)明的目的在于提供一種能減少硅片崩邊發(fā)生、降低硅片表面粗糙度的使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法。
本發(fā)明由如下技術(shù)方案實施：一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法，其包括如下步驟：(1)粘棒固定；(2)安裝超高密度金剛石線；(3)線切；(4)清洗檢測；其中，
(1)粘棒固定：將硅單晶切方磨平制得硅棒，將磨好的所述硅棒使用樹脂膠粘接在料板上固化，所述硅棒與所述料板粘結(jié)牢固后安裝在線切割設(shè)備上；
(2)安裝超高密度金剛石線：將超高密度金剛石線安裝在多線切割機上，所述超高密度金剛石線的一端繞在帶有小槽的行走輪上；
(3)線切：用所述超高密度金剛石線進行切割，將所述硅棒加工成硅片；所述超高密度金剛石線上的金剛石顆粒密度為75～85顆/毫米；所述超高密度金剛石線的入刀速度為1-1.2毫米/分鐘，出刀速度為0.3-0.6毫米/分鐘，切割速度為0.85-1.1毫米/分鐘，切割過程中循環(huán)水流量為200L-240升/分鐘，所述循環(huán)水溫度控制在20℃-24℃；行走輪帶動所述超高密度金剛石線進行往復(fù)走線，走線速度為800-1100米/分鐘，使得放出的新線大于收回的舊線線量保證新線的供給，同時將硅棒下壓進行切割制得硅片；主軸加速時間小于4秒，停頓時間小于0.3秒；
(4)清洗檢測：切割結(jié)束后將所述硅片進行脫膠清洗及檢測包裝。
優(yōu)選的，所述步驟(3)中的所述切割速度為0.9～1.1毫米/分鐘。
本發(fā)明的優(yōu)點在于，本發(fā)明使用超高密度金剛石線切割硅片，同時提高切割速度和出刀速度，克服了出刀面崩邊嚴重及切割時間較長的問題；在提高出刀速度后，增加了鋼線切削效率，減少了切割用時，提高了設(shè)備產(chǎn)能；長度在300～500μm范圍內(nèi)崩邊降低占比為50％，同時表面粗糙度Rz中位數(shù)降低至4.2μm以下。
具體實施方式：
實施例1：一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法，其包括如下步驟：(1)粘棒固定；(2)安裝超高密度金剛石線；(3)線切；(4)清洗檢測；其中，
(1)粘棒固定：將硅單晶切方磨平制得硅棒，將磨好的所述硅棒使用樹脂膠粘接在料板上固化，所述硅棒與所述料板粘結(jié)牢固后安裝在線切割設(shè)備上；
(2)安裝超高密度金剛石線：將超高密度金剛石線安裝在多線切割機上，所述超高密度金剛石線的一端繞在帶有小槽的行走輪上；
(3)線切：用所述超高密度金剛石線進行切割，將所述硅棒加工成硅片；所述超高密度金剛石線上的金剛石顆粒密度為75顆/毫米；所述超高密度金剛石線的入刀速度為1毫米/分鐘，出刀速度為0.3毫米/分鐘，切割速度為0.85毫米/分鐘，切割過程中循環(huán)水流量為200L升/分鐘，所述循環(huán)水溫度控制在20℃℃；行走輪帶動所述超高密度金剛石線進行往復(fù)走線，走線速度為800米/分鐘，使得放出的新線大于收回的舊線線量保證新線的供給，同時將硅棒下壓進行切割制得硅片；主軸加速時間小于4秒，停頓時間小于0.3秒；
(4)清洗檢測：切割結(jié)束后將所述硅片進行脫膠清洗及檢測包裝。
1號硅片為現(xiàn)有技術(shù)切割而成，切割使用的切割鋼線為電鍍金剛線，切割鋼線上的金剛石顆粒密度為50顆/毫米，切割速度為0.6毫米/分鐘，出刀速度為0.2毫米/分鐘。2號硅片為利用實施例1方法切割而成。表1為兩種硅片對比結(jié)果。
表1?兩種硅片對比結(jié)果
實施例2：一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法，其包括如下步驟：(1)粘棒固定；(2)安裝超高密度金剛石線；(3)線切；(4)清洗檢測；其中，
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