[發明專利]一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法

有效

• 申請號: 201410614642.0
• 申請日: 2014-10-31
• 公開（公告）號: CN104476686A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 杜雪冬;王景然;崔偉;李帥;危晨;趙越;王龍;郭剛剛;王巖;徐強
• 申請（專利權）人: 內蒙古中環光伏材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法，其特征在于，其包括如下步驟：(1)粘棒固定；(2)安裝超高密度金剛石線；(3)線切；(4)清洗檢測；其中，

(1)粘棒固定：將硅單晶切方磨平制得硅棒，將磨好的所述硅棒使用樹脂膠粘接在料板上固化，所述硅棒與所述料板粘結牢固后安裝在線切割設備上；

(2)安裝超高密度金剛石線：將超高密度金剛石線安裝在多線切割機上，所述超高密度金剛石線的一端繞在帶有小槽的行走輪上；

(3)線切：用所述超高密度金剛石線進行切割，將所述硅棒加工成硅片；所述超高密度金剛石線上的金剛石顆粒密度為75～85顆/毫米；所述超高密度金剛石線的入刀速度為1-1.2毫米/分鐘，出刀速度為0.3-0.6毫米/分鐘，切割速度為0.85-1.1毫米/分鐘，切割過程中循環水流量為200L-240升/分鐘，所述循環水溫度控制在20℃-24℃；行走輪帶動所述超高密度金剛石線進行往復走線，走線速度為800-1100米/分鐘，同時將硅棒下壓進行切割制得硅片；主軸加速時間小于4秒，停頓時間小于0.3秒；

(4)清洗檢測：切割結束后將所述硅片進行脫膠清洗及檢測包裝。

2.根據權利要求1所述的一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級硅片的方法，其特征在于，所述步驟(3)中的所述切割速度為0.9～1.1毫米/分鐘。