[發明專利]軟性透光物體中蝕刻圖案的檢測裝置及方法

有效

• 申請號: 201410612880.8
• 申請日: 2014-11-04
• 公開（公告）號: CN104330418B
• 公開（公告）日: 2017-06-16
• 發明（設計）人: 鄒美芳;姚毅;張利飛;華旭東;周堯
• 申請（專利權）人: 北京凌云光技術有限責任公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙)11363
• 代理人: 逯長明,許偉群

1.一種軟性透光物體中蝕刻圖案的檢測裝置，包括橫向設置的玻璃支撐板，所述玻璃支撐板的上表面開有多條相互連通的凹槽；其中一條凹槽的底部設有與玻璃支撐板外部連通的通孔，所述通孔與所述玻璃支撐板外部的吸風裝置連通，所述玻璃支撐板的上方設置圖像采集裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：

設置于所述玻璃支撐板下方并發射漫射光的面光源；所述面光源為每條凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的中心與每條對應凹槽的中心在同一垂線上，且所述照射區域的橫向寬度與對應凹槽的橫向寬度成設定比例，以使所述漫射光進入所述玻璃支撐板并由每條凹槽邊緣射出后進入所述圖像采集設備的接收器；所述面光源為每條凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的橫向寬度與對應凹槽的橫向寬度之比為5～10:1。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述面光源與所述玻璃支撐板之間還包括散射板，所述散射板與所述玻璃支撐板平行，且所述散射板的中心與所述面光源的中心在同一豎直線上；

所述散射板的橫向長度大于或等于多條凹槽在橫向方向上延伸的最大長度，所述散射板的縱向長度大于或等于多條凹槽在縱向方向上延伸的最大長度。

3.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述面光源包括多個LED顆粒，多個LED顆粒呈均勻的點陣排布。

4.一種軟性透光物體中蝕刻圖案的檢測裝置，包括橫向設置的玻璃支撐板，所述玻璃支撐板的上表面開有多條相互連通的凹槽其中一條凹槽的底部設有與玻璃支撐板外部連通的通孔，所述通孔與所述玻璃支撐板外部的吸風裝置連通，其特征在于，所述檢測裝置還包括：

移動的圖像采集裝置，設于所述玻璃支撐板的上方，沿橫向方向由被檢測物的一個側端向另一側端依次進行線性掃描；

移動的面光源，設于所述玻璃支撐板下方并與所述圖像采集裝置的移動同步，所述面光源發射漫射光，所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的橫向寬度與所述圖像采集裝置一次掃描區域的橫向寬度成設定比例，且所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的中心與所述圖像采集裝置一次掃描區域的中心重合，以使所述漫射光進入所述玻璃支撐板并由每條凹槽邊緣射出后進入所述圖像采集裝置的接收器；所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的橫向寬度與被掃描區域的橫向寬度之比為5～10:1。

5.根據權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述面光源與所述玻璃支撐板之間還包括散射板，所述散射板與所述玻璃支撐板平行并與所述面光源同步移動；

所述散射板的中心與所述面光源的中心在同一豎直線上。

6.根據權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述面光源包括多個LED顆粒，多個LED顆粒呈均勻的點陣排布。

7.一種軟性透光物體中蝕刻圖案檢測方法，其特征在于，包括：

橫向放置玻璃支撐板，將被檢測物放置于玻璃支撐板的上表面，與所述玻璃支撐板上表面開有的多條凹槽連通的吸風裝置吸取所述被檢測物與所述玻璃支撐板上表面之間的空氣使所述被檢測物展平；

在所述玻璃支撐板下方設置發射漫射光的面光源，所述面光源為每條凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的中心與每條對應凹槽的中心在同一垂線上，且所述照射區域的橫向寬度與對應凹槽的橫向寬度成設定比例，以使所述漫射光進入所述玻璃支撐板并由每條凹槽邊緣射出后進入所述玻璃支撐板上方設置的圖像采集裝置的接收器內；所述面光源為每條凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的橫向寬度與對應凹槽的橫向寬度之比為5～10:1。

8.一種軟性透光物體中蝕刻圖案檢測方法，其特征在于，包括：

橫向放置玻璃支撐板，將被檢測物放置于所述玻璃支撐板的上表面，與所述玻璃支撐板上表面開有的多條凹槽連通的吸風裝置吸取所述被檢測物與所述玻璃支撐板上表面之間的空氣使所述被檢測物展平；

橫向移動玻璃支撐板上方的圖像采集裝置，由所述被檢測物的一個側端向另一側端依次進行線性掃描；

橫向移動所述玻璃支撐板下方的面光源并與所述圖像采集裝置的移動同步，使所述面光源發射漫射光，且所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的橫向寬度與所述圖像采集裝置一次掃描區域的橫向寬度成設定比例，并使所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的中心與所述圖像采集裝置一次掃描區域的中心重合，以使所述漫射光進入所述玻璃支撐板并由每條凹槽邊緣射出后進入所述圖像采集裝置的接收器；所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區域的橫向寬度與被掃描區域的橫向寬度之比為5～10:1。