[發(fā)明專利]軟性透光物體中蝕刻圖案的檢測裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410612880.8
• 申請日: 2014-11-04
• 公開（公告）號: CN104330418B
• 公開（公告）日: 2017-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒美芳;姚毅;張利飛;華旭東;周堯
• 申請（專利權(quán)）人: 北京凌云光技術(shù)有限責任公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11363
• 代理人: 逯長明,許偉群

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電光學器件檢測領(lǐng)域，具體涉及一種軟性透光物體中蝕刻圖案的檢測裝置及方法。

背景技術(shù)

對于透光物體(如菲林等)上蝕刻圖案的檢測，通常采用圖1中所示的檢測設(shè)備進行檢測。該檢測設(shè)備包括設(shè)置于固定位置的背光光源01、玻璃支撐板02和圖像采集設(shè)備03。被檢測物04平放于玻璃支撐件的上表面。背光光源01發(fā)出的散射光透過玻璃垂直照射被檢測物。光線在到達檢測物上的圖形處時被吸收，在到達圖形以外的空白處時，透過被檢測物后射出，因此檢測物上的圖形能夠在圖像采集設(shè)備中成像。

當較軟的被檢測物平置于玻璃支撐板上時，其四周或是其他部分易會出現(xiàn)翹曲，進而影響被檢測物上圖案的圖像采集。為避免較軟被檢測物在玻璃支撐平面上出現(xiàn)翹曲，通過在玻璃支撐板上開槽實現(xiàn)被檢測物的展平。圖2示出了玻璃支撐板上帶開槽的檢測設(shè)備圖。如圖2所示，玻璃支撐板02的上表面開有多條相互連通的凹槽05。被檢測物04平放于玻璃支撐板02的上表面后，風機通過凹槽05中的空隙將被檢測物04和玻璃支撐板02上表面之間的空氣抽走，被檢測物04就會吸帖在玻璃支撐板02上表面，實現(xiàn)展平。

本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在玻璃支撐板上開設(shè)凹槽可較好地實現(xiàn)被檢測物的展平，但同時玻璃支撐板上的凹槽又帶來了其他問題。如圖3所示，垂直射入玻璃支撐板的入射光線與法線的夾角為a，由于光線由玻璃射入空氣，折射角b大于入射角，出射光線改變傳輸方向而無法進入圖像采集設(shè)備的拍攝區(qū)域。而未經(jīng)開槽部位的光線經(jīng)玻璃支撐板后能夠進入圖像采集設(shè)備的拍攝區(qū)域，因此開槽在圖像采集設(shè)備中所成的圖像相較于玻璃支撐板其他部分的圖像為黑色線條，若該黑色線條與被檢測物上蝕刻的圖案在圖像采集設(shè)備中的圖像重合，則無法判斷被檢測物上蝕刻的圖案是否合格。若該黑色線條與被檢測物上蝕刻的圖案在圖像采集設(shè)備中的圖像存有交叉或部分重合，則確定被檢測物為不合格產(chǎn)品，從而造成大量的誤檢。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的發(fā)明目的在于提供一種抑制開槽在圖像采集裝置中成像的檢測裝置和方法，避免由于玻璃支撐板上的開槽在圖像采集裝置中的成像而造成的誤檢。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明的實施例提供了一種軟性透光物體中蝕刻圖案的檢測裝置，包括：橫向設(shè)置的玻璃支撐板，所述玻璃支撐板的上表面開有多條相互連通的凹槽；其中一條凹槽的底部設(shè)有與玻璃支撐板外部連通的通孔，所述通孔與所述玻璃支撐板外部的吸風裝置連通，所述玻璃支撐板的上方設(shè)置圖像采集裝置，以及，

設(shè)置于所述玻璃支撐板下方并發(fā)射漫射光的面光源；所述面光源為每條凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撐板上形成的照射區(qū)域的中心與每條對應(yīng)凹槽的中心在同一垂線上，且所述照射區(qū)域的橫向?qū)挾扰c對應(yīng)凹槽的橫向?qū)挾瘸稍O(shè)定比例，以使所述漫射光進入所述玻璃支撐板并由每條凹槽邊緣射出后進入所述圖像采集設(shè)備的接收器。

其中，所述面光源為每條凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撐板上形成的照射區(qū)域的橫向?qū)挾扰c對應(yīng)凹槽的橫向?qū)挾戎葹?～10:1。

進一步地，所述面光源與所述玻璃支撐板之間還包括散射板，所述散射板與所述玻璃支撐板平行，且所述散射板的中心與所述面光源的中心在同一豎直線上；

所述散射板的橫向長度大于或等于多條凹槽在橫向方向上延伸的最大長度，所述散射板的縱向長度大于或等于多條凹槽在縱向方向上延伸的最大長度。

優(yōu)選地，所述面光源包括多個LED顆粒，多個LED顆粒呈均勻的點陣排布。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，還提供了一種軟性透光物體中蝕刻圖案的檢測裝置，包括橫向設(shè)置的玻璃支撐板，所述玻璃支撐板的上表面開有多條相互連通的凹槽其中一條凹槽的底部設(shè)有與玻璃支撐板外部連通的通孔，所述通孔與所述玻璃支撐板外部的吸風裝置連通，以及，

移動的圖像采集裝置，設(shè)于所述玻璃支撐板的上方，沿橫向方向由所述被檢測物的一個側(cè)端向另一側(cè)端依次進行線性掃描；

移動的面光源，設(shè)于所述玻璃支撐板下方并與所述圖像采集裝置的移動同步，所述面光源發(fā)射漫射光，所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區(qū)域的橫向?qū)挾扰c所述圖像采集裝置一次掃描區(qū)域的橫向?qū)挾瘸稍O(shè)定比例，且所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區(qū)域的中心與所述圖像采集裝置一次掃描區(qū)域的中心重合，以使所述漫射光進入所述玻璃支撐板并由每條凹槽邊緣射出后進入所述圖像采集裝置的接收器。

其中，所述面光源在所述玻璃支撐板上形成的照射區(qū)域的橫向?qū)挾扰c被掃描區(qū)域的橫向?qū)挾戎葹?～10:1。

進一步地，所述面光源與所述玻璃支撐板之間還包括散射板，所述散射板與所述玻璃支撐板平行并與所述面光源同步移動；