[發明專利]TFT基板噴淋裝置及蝕刻系統

有效

• 申請號: 201410605977.6
• 申請日: 2014-10-30
• 公開（公告）號: CN104330907A
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 李嘉
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

技術領域

本發明涉及一種TFT基板噴淋裝置及蝕刻系統。

背景技術

在液晶顯示面板制造行業，濕法刻蝕技術應用十分廣泛，隨著液晶面板各種制程的不斷更新換代，TFT基板金屬線種類也更多，從鋁制程到銅制程、銀制程；不同的金屬在制作金屬線圖案時使用的濕法刻蝕時，通過噴嘴將藥液均勻的噴灑在基板表面，最終得到需要的金屬圖案；但是同一機臺在使用不同藥液做刻蝕的時候由于藥液的粘稠度不同，噴嘴噴出來的水花大小就會不一樣，這樣就會影響刻蝕均一性。

發明內容

本發明的目的在于提供一種TFT基板噴淋裝置，可保證噴嘴噴出來的水花相同，進而保證刻蝕均一性。

本發明還提供一種TFT基板蝕刻系統。

本發明提供一種TFT基板噴淋裝置，所述噴射裝置包括噴淋軸筒、及用于對所述基板噴淋的至少兩種噴嘴；所述至少兩種噴嘴設于所述噴淋軸筒外表面并與所述噴淋軸筒內部貫通，并且至少兩種噴嘴位于所述噴淋軸筒外周面的不同側；所述噴淋軸筒內設有沿著噴淋軸筒內壁軸向延伸并可繞噴淋軸筒軸心轉動的遮擋壁，所述遮擋壁與噴淋軸筒內壁接觸的面積大于至少兩種噴嘴與噴淋軸筒連接處的面積；所述噴淋軸筒旋轉使所述遮擋壁在所述噴淋軸筒內封閉所述至少兩個種噴嘴中的一種，并使另一種噴嘴進行噴淋。

其中，所述至少兩種噴嘴包括第一噴嘴及第二噴嘴且第一噴嘴及第二噴嘴的數量均為多個，所述多個第一噴嘴及多個第二噴嘴均沿著所述噴淋軸筒的軸向呈直線排列設于所述噴淋軸筒外表面上，并且所述多個第一噴嘴所在直線與多個第二噴嘴所在直線在所述噴淋軸筒外表面不同側。

其中，所述第一噴嘴與所述第二噴嘴分別噴射不同粘稠度的蝕刻藥液。

其中，所述第一噴嘴的噴口直徑與所述第二噴嘴的噴口直徑不同。

其中，所述遮擋壁為筒狀且截面為半圓形。

其中，所述第一噴嘴所在位置與第二噴嘴所在位置呈直角。

其中，所述數個第一噴嘴所在直線與數個第二噴嘴所在直線以所述噴淋軸筒的軸線為對稱線。

其中，所述噴淋裝置還包括噴淋軸筒連接的控制噴淋裝置噴淋的控制件。

本發明提供一種TFT基板蝕刻系統，其包括固定基板的承載臺、控制系統及對所述基板蝕刻的所述的噴淋裝置，噴淋軸筒旋轉使所述遮擋壁在所述噴淋軸筒內封閉所述至少兩個種噴嘴中的一種，并使另一種噴嘴對向所述基板。

本發明的TFT基板的噴淋裝置在噴淋軸筒上設有不同種類的噴嘴，并且噴淋軸筒內設有遮擋壁，對不同粘稠度的藥液旋轉所述噴淋軸筒針，使用不同的噴嘴進行噴淋，產生水花大小相同，保證了蝕刻的均勻一致性，而且本發明的噴淋裝置結構簡單，易于操作。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例的TFT基板蝕刻系統噴淋裝置的示意圖。

圖2是圖1所述的TFT基板蝕刻系統噴淋軸筒截面示意圖。

圖3是本發明實施例的TFT基板蝕刻系統的示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

請參閱圖1與圖3，本發明佳實施方式提供一種TFT基板噴淋裝置及TFT基板蝕刻系統。用于適合不同金屬在TFT基板濕法蝕刻時形成金屬線圖。所述TFT基板蝕刻系統包括TFT基板噴淋裝置10、固定基板21的承載臺20及控制系統；所述噴淋裝置10與所述承載臺20相對設置。

請一并參閱圖2，所述噴射裝置10包括噴淋軸筒12、及用于對所述基板噴淋的至少兩種噴嘴；所述至少兩種噴嘴設于所述噴淋軸筒12外表面并與所述噴淋軸筒12內部貫通，并且至少兩種噴嘴位于所述噴淋軸筒12外周面的不同側。所述噴淋軸筒12內設有沿著噴淋軸筒12內壁軸向延伸并可繞噴淋軸筒12軸心轉動的遮擋壁14，所述遮擋壁14與噴淋軸筒12內壁接觸的面積大于至少兩種噴嘴與噴淋軸筒12連接處的面積；所述噴淋軸筒12旋轉使所述遮擋壁14在所述噴淋軸筒12內封閉所述至少兩個種噴嘴中的一種，并使另一種噴嘴進行噴淋。