[發(fā)明專利]TFT基板噴淋裝置及蝕刻系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410605977.6
• 申請(qǐng)日: 2014-10-30
• 公開（公告）號(hào): CN104330907A
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李嘉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

1.一種TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述噴射裝置包括噴淋軸筒、及用于對(duì)所述基板噴淋的至少兩種噴嘴；所述至少兩種噴嘴設(shè)于所述噴淋軸筒外表面并與所述噴淋軸筒內(nèi)部貫通，并且至少兩種噴嘴位于所述噴淋軸筒外周面的不同側(cè)；所述噴淋軸筒內(nèi)設(shè)有沿著噴淋軸筒內(nèi)壁軸向延伸并可繞噴淋軸筒軸心轉(zhuǎn)動(dòng)的遮擋壁，所述遮擋壁與噴淋軸筒內(nèi)壁接觸的面積大于至少兩種噴嘴與噴淋軸筒連接處的面積；所述噴淋軸筒旋轉(zhuǎn)使所述遮擋壁在所述噴淋軸筒內(nèi)封閉所述至少兩個(gè)種噴嘴中的一種，并使另一種噴嘴進(jìn)行噴淋。

2.如權(quán)利要求1所述的TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述至少兩種噴嘴包括第一噴嘴及第二噴嘴且第一噴嘴及第二噴嘴的數(shù)量均為多個(gè)，所述多個(gè)第一噴嘴及多個(gè)第二噴嘴均沿著所述噴淋軸筒的軸向呈直線排列設(shè)于所述噴淋軸筒外表面上，并且所述多個(gè)第一噴嘴所在直線與多個(gè)第二噴嘴所在直線在所述噴淋軸筒外表面不同側(cè)。

3.如權(quán)利要求2所述的TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述第一噴嘴與所述第二噴嘴分別噴射不同粘稠度的蝕刻藥液。

4.如權(quán)利要求3所述的TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述第一噴嘴的噴口直徑與所述第二噴嘴的噴口直徑不同。

5.如權(quán)利要求4所述的TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述遮擋壁為筒狀且截面為半圓形。

6.如權(quán)利要求5所述的TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述第一噴嘴所在位置與第二噴嘴所在位置呈直角。

7.如權(quán)利要求5所述的TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述數(shù)個(gè)第一噴嘴所在直線與數(shù)個(gè)第二噴嘴所在直線以所述噴淋軸筒的軸線為對(duì)稱線。

8.如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的TFT基板噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋裝置還包括噴淋軸筒連接的控制噴淋裝置噴淋的控制件。

9.一種TFT基板蝕刻系統(tǒng)，其特征在于，其包括固定基板的承載臺(tái)、控制系統(tǒng)及對(duì)所述基板蝕刻的如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的噴淋裝置，噴淋軸筒旋轉(zhuǎn)使所述遮擋壁在所述噴淋軸筒內(nèi)封閉所述至少兩個(gè)種噴嘴中的一種，并使另一種噴嘴對(duì)向所述基板。