[發明專利]一種非晶硒合金膜的制備方法

在審

• 申請號: 201410602951.6
• 申請日: 2014-10-31
• 公開（公告）號: CN105624610A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 王耀斌
• 申請（專利權）人: 陜西盛邁石油有限公司
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06
• 代理公司: 西安億諾專利代理有限公司 61220
• 代理人: 劉斌

1.一種非晶硒合金膜的制備方法，其特征在于包括如下步驟：（1）將高純度的固態硒和砷按一定質量比稱量好，裝入預先清洗烘干后的石英管中；（2）與分子泵連接抽真空5×10^-4Pa以上，維持數小時后封管，使得硒、砷真空密封于石英管中；（3）然后放入恒溫爐中加熱，使Se、As充分反應，形成均勻的液態合金；（4）從高溫爐中取出后，用室溫水淬火，形成完全非晶化的塊狀合金；（5）將上述合金放入蒸鍍設備進行蒸鍍后成膜。

2.如權利要求1所述的一種非晶硒合金膜的制備方法，其特征在于所述步驟（5）的蒸鍍過程包括如下步驟：（1）在蒸鍍裝置中采用加熱電流使合金源的溫度在10min內迅速升至200℃；減小加熱電流，在40min時達到溫度最高點，保持溫度10min，停止加熱，讓合金源自然冷卻；（2）保持高真空等待鐘罩內溫度降至室溫以下后將鍍膜片取出保存。

3.如權利要求1所述的一種非晶硒合金膜的制備方法，其特征在于所述步驟（1）中的砷的含量為0.5%。

4.如權利要求1所述的一種非晶硒合金膜的制備方法，其特征在于所述步驟（2）中的抽真空后的維持時間為3小時。

5.如權利要求1所述的一種非晶硒合金膜的制備方法，其特征在于所述步驟（3）中恒溫爐的溫度為700℃，恒溫時間為20h。

6.如權利要求2所述的一種非晶硒合金膜的制備方法，其特征在于所述步驟（1）中的溫度最高點為350℃。