[發明專利]一種響應波長可調的紫外探測器

在審

• 申請號: 201410601733.0
• 申請日: 2014-10-31
• 公開（公告）號: CN105633193A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 郭麗偉;陳小龍;趙萌;王文軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: H01L31/109
• 分類號: H01L31/109;H01L31/0336
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種響應波長可調的基于Al_xGa_1-xN上石墨烯的紫外探測器，該探測 器包括支撐襯底(1)，所述支撐襯底(1)上形成有Al_xGa_1-xN(2)，所述 Al_xGa_1-xN(2)上形成有石墨烯層(3)，以及在所述石墨烯層(3)上形成 有兩端探測電極(4)，另外在所述兩端探測電極(4)上分別具有超聲鍵合 的電極引線(5)。

2.根據權利要求1所述的紫外探測器，其特征在于，所述支撐襯底(1) 可以是藍寶石，SiC、GaN或AlN，以及其它適合Al_xGa_1-xN生長的襯底。

3.根據權利要求1所述的紫外探測器，其特征在于，所述Al_xGa_1-xN的 Al組分x值介于0和1之間。

4.根據權利要求1或3所述的紫外探測器，其特征在于，所述Al_xGa_1-xN 層(2)上的所述石墨烯層(3)的層數在10層以下。

5.根據權利要求1所述的紫外探測器，其特征在于，還包括一個具有 通光窗口的封裝殼體，所述電極引線(5)與封裝殼體的電極相連，紫外光 可以通過通光窗口照射到所述Al_xGa_1-xN層(2)和所述石墨烯層(3)上。

6.根據權利要求1所述的紫外探測器，其特征在于，所述兩端探測電 極(4)是簡單的一組或多組兩端電極，或者是一組或多組的叉指電極以及 其它類似的電極。