[發明專利]蒸鍍屏蔽

有效

• 申請號: 201410598749.0
• 申請日: 2014-10-30
• 公開（公告）號: CN104278233A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 陳冠吉;林子傑;郭雅佩;陳之磊
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;李巖

技術領域

本發明是有關于一種蒸鍍裝置；具體而言，本發明是有關于一種于顯示器制程中使用的蒸鍍屏蔽。

背景技術

有機電激發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode)或稱有機發光顯示器，簡稱OLED，具有超薄、高亮度、高發光效率、高反應速度、廣視角、自發光而不另需背光源等特色。OLED具有設置于陰極與陽極間的有機層。利用有機材料的特性，OLED將能量以光波的形式釋出。簡言之，OLED具有有機發光層。有機材料的種類及組合并可加以變化，產生各發不同光的OLED。

在OLED的制程中，舉例來說，可以氣或液相沉積、涂布或電鍍等方式成膜，其中有機膜層可以真空蒸鍍搭配屏蔽界定成膜區域的方式形成。如圖1A～1C所示，現有屏蔽90由上部片體820及下部片體810搭設成；上部片體820及下部片體810可再架設于框架900上。上部片體820及下部片體810并于基材S上圍構成成膜區域M。其中，每完成蒸鍍制程，屏蔽90經清潔(以例如浸泡于藥液中、噴灑藥液以及/或以清洗設備清潔)以除去附著其上的蒸鍍材料，并經干燥以備下次蒸鍍之用。然而，相互搭設的上部片體820及下部片體810畢竟為相互獨立的部件，兩者間若未加以黏接或焊接，則上部片體820及下部片體810相疊的部分A仍會發生微小的間隙g。當進行屏蔽90的清潔時，盡管藥液可能流入間隙g，間隙g的狹小及重疊部分的大面積難以確保藥液可充分清潔該重疊的部分A；再者，流入間隙g內的藥液及其可能攜帶的物質亦難確保可通過間隙g，而在清洗后自屏蔽90移除(即殘留于間隙g、屏蔽90)。因此，上部片體820及下部片體810相疊的部分A及其間隙g在清潔后仍有成膜材料殘留過多的顧慮；此外，藥液的成分亦可能殘留于屏蔽90。該些殘留一方面可能成為污染物、降低屏蔽90壽命，另一方面則可能在使用于蒸鍍制程時釋出，影響制程質量，產品良率因此受到影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種蒸鍍屏蔽，具有容易清潔的優點。

本發明的另一目的在于提供一種蒸鍍屏蔽，使用率高且協助提高蒸鍍成品的良率。

本發明的蒸鍍屏蔽供使用于具有蒸鍍源的蒸鍍制程中，包含第一本體及第二本體。第一本體具有第一疊合區，第一疊合區上形成有多個第一穿孔。第二本體與第一本體不同方向延伸，并具有第二疊合區。第二疊合區上形成有多個第二穿孔。第一疊合區與第二疊合區疊合，且第一穿孔在第二疊合區上的投影范圍均在第二穿孔的范圍外。

本發明蒸鍍屏蔽的第一本體與第二本體相互疊設。當第一本體與第二本體相互疊設時，重疊的部分因第一穿孔及第二穿孔而形成有孔。

本發明蒸鍍屏蔽的第一本體與第二本體分別形成有第一穿孔及第二穿孔，且第一本體與第二本體相互疊設，其中第一本體與第二本體相互疊設時以其形成有第一穿孔及第二穿孔的部分相疊而疊設。第一穿孔在第二本體上的投影范圍在第二穿孔的范圍外。

附圖說明

圖1A所示為現有技術屏蔽的分解圖；

圖1B與1C所示分別為現有技術屏蔽的俯視圖與側視圖；

圖2A～2B所示為本發明蒸鍍屏蔽的實施例的分解圖；

圖3A與3B所示分別為本發明蒸鍍屏蔽的實施例的立體圖與俯視圖；

圖3C所示為圖3A～3B所示實施例的剖視圖；

圖4所示為液體于本發明蒸鍍屏蔽流動的示意圖；

圖5～7與8A～8B所示為本發明蒸鍍屏蔽其它實施例的示意圖；

圖9A～9B所示為本發明顯示蒸鍍屏蔽的使用例的示意圖；

圖10所示為本發明蒸鍍屏蔽其它實施例的分解圖；以及

圖11所示為圖10所示實施例的使用例的示意圖。

[本發明]

10、10n?蒸鍍屏蔽

100、100a、100b、100c?第一本體

110?第一本體

120?開孔

150?第一疊合區

180?第一穿孔

200、200a、200b、200c?第二本體

220?第二本體

250?第二疊合區

280?第二穿孔

500?框體

510?支撐臺

520?框本體

G?間隙

D?孔徑

d?距離

S?基板

C?蒸鍍源

[習知]

810?上部片體

820?下部片體