[發(fā)明專利]一種太陽能電池的背電極Mo薄膜及其制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410597967.2
• 申請日: 2014-10-31
• 公開（公告）號: CN104393064A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐東;仁昌義
• 申請（專利權(quán)）人: 徐東
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種太陽能電池的背電極Mo薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）基體的選擇；

（2）基體的清洗：將基體在丙酮、無水乙醇和去離子水中超聲波中清洗，然后用高純氮氣吹干；?

（3）金屬層的制備：

采用直流電源、直流脈沖電源或射頻電源，以金屬Al為靶材，電流為0.5A-2A，工作壓強為1Pa-5Pa，在所述基體上制備得到單一金屬A1的金屬層；或

采用金屬Al與Mo的合金靶濺射得到金屬A1與Mo混合的金屬層；或

采用金屬Al靶與Mo靶共濺射制備得到金屬A1與Mo混合的金屬層；

（4）Mo薄膜的制備：

采用直流電源、直流脈沖電源或射頻電源在所述已鍍有金屬A1的金屬層或金屬A1與Mo混合的金屬層的基體上沉積一層Mo薄膜，其中，Mo靶的靶電流為0.6A-2A，工作壓強為0.05Pa-0.5Pa。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的背電極Mo薄膜的制備方法，其特征在于，在步驟(1)中，所述基體為載玻片、鈉鈣玻璃或不銹鋼。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的背電極Mo薄膜的制備方法，其特征在于，在步驟(2)中，所述超聲波清洗的時間為5-15min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的背電極Mo薄膜的制備方法，其特征在于，在步驟(3)中，所述金屬層的厚度為8-100nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的背電極Mo薄膜的制備方法，其特征在于，在步驟(4)中，所述Mo薄膜的厚度為0.5-1.2um。

6.一種太陽能電池的背電極Mo薄膜，其特征在于，由權(quán)利要求1-5任一項所述太陽能電池的背電極Mo薄膜的制備方法制備而成，所述太陽能電池的背電極Mo薄膜包括依次層疊設(shè)置的基體、金屬層和Mo薄膜；所述金屬層沉積在所述基體上，所述Mo薄膜沉積在所述金屬層上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽能電池的背電極Mo薄膜，其特征在于，所述金屬層為單一金屬Al的金屬層或金屬Al與Mo混合的金屬層。