[發(fā)明專利]曝光裝置的調(diào)整裝置及調(diào)整方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410597382.0
• 申請(qǐng)日: 2014-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105549327A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫晶露
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種調(diào)整裝置，為一無(wú)焦光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)整裝置包括至 少一個(gè)楔形透鏡和多個(gè)光學(xué)透鏡。

2.如權(quán)利要求1所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置置于曝光裝 置中，所述曝光裝置包括光源、光罩、感光基板和所述調(diào)整裝置，所述光源照 射光罩上的圖案成像，并通過(guò)所述調(diào)整裝置進(jìn)行光路調(diào)整后，投影曝光于所述 感光基板上。

3.如權(quán)利要求2所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述曝光裝置還包括至少 一個(gè)戴森光學(xué)系統(tǒng)，所述光源照射光罩上的圖案成像，經(jīng)所述調(diào)整裝置和至少 一個(gè)戴森光學(xué)系統(tǒng)曝光于所述感光基板上。

4.如權(quán)利要求3所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置置于戴森光 學(xué)系統(tǒng)與光罩之間、多個(gè)戴森光學(xué)系統(tǒng)之間或戴森光學(xué)系統(tǒng)與感光基板之間。

5.如權(quán)利要求3所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述戴森光學(xué)系統(tǒng)包括直 角反射鏡、透鏡和凹面反射鏡，光束經(jīng)過(guò)直角反射鏡反射，然后經(jīng)過(guò)透鏡和凹 面反射鏡進(jìn)行反射，返回所述直角反射鏡，最后再由所述直角反射鏡反射至另 一戴森光學(xué)系統(tǒng)或感光基板上。

6.如權(quán)利要求5所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置置于直角反 射鏡和透鏡之間。

7.如權(quán)利要求1所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置包括：

第一楔形透鏡，具有第一斜面，及第一楔角；

第一光學(xué)透鏡，具有第二斜面及相對(duì)的第一彎曲面，所述第二斜面靠近且 平行上述第一斜面，具有第一楔角，所述第一彎曲面具有第一曲率半徑；

第二光學(xué)透鏡，具有第二彎曲面及相對(duì)的第三彎曲面，所述第二彎曲面靠 近上述第一彎曲面，具有與第一曲率半徑相同或者相近的第二曲率半徑，所述 第三彎曲面具有第三曲率半徑；

第三光學(xué)透鏡，具有靠近所述第三彎曲面的第四彎曲面，具有與第三曲率 半徑相同或者相近的第四曲率半徑。

8.如權(quán)利要求7所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置的第一楔角 的角度范圍為0.5°～10°。

9.如權(quán)利要求1所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置包括：

第一楔形透鏡，具有第一斜面，及第一楔角；

第一光學(xué)透鏡，具有第二斜面及相對(duì)的第一彎曲面，所述第二斜面靠近且 平行上述第一斜面，具有第一楔角，所述第一彎曲面具有第一曲率半徑；

第二光學(xué)透鏡，具有第二彎曲面及相對(duì)的第三彎曲面，所述第二彎曲面靠 近上述第一彎曲面，具有與第一曲率半徑相同或者相近的第二曲率半徑，所述 第三彎曲面具有第三曲率半徑；

第三光學(xué)透鏡，具有第四彎曲面及相對(duì)的第三斜面，所述第四彎曲面靠近 上述第三彎曲面，具有與第三曲率半徑相同或者相近的第四曲率半徑，所述第 三斜面與第一斜面平行，具有第二楔角；

第二楔形透鏡，具有第四斜面，及第二楔角，所述第四斜面靠近上述第三 斜面，且與第一斜面平行。

10.如權(quán)利要求9所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置的第一楔 角及第二楔角的角度范圍為0.5°～10°。

11.如權(quán)利要求7或9所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置的第 一曲率半徑、第二曲率半徑、第三曲率半徑和第四曲率半徑的半徑范圍為 200mm～2000mm。

12.如權(quán)利要求7或9所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整裝置的鏡 片材料使用紫外高透過(guò)率材料。

13.一種調(diào)整方法，應(yīng)用于如權(quán)利要求1所述的調(diào)整裝置，其特征在于， 所述調(diào)整方法包括焦面調(diào)整、倍率調(diào)整、平移調(diào)整，所述焦面調(diào)整通過(guò)沿楔形 透鏡的斜面方向移動(dòng)楔形透鏡以實(shí)現(xiàn)焦面的改變，所述倍率調(diào)整通過(guò)沿光軸方 向移動(dòng)光學(xué)透鏡以實(shí)現(xiàn)倍率的改變，所述平移調(diào)整通過(guò)沿光路的水平方向或垂 直方向旋轉(zhuǎn)調(diào)整裝置的整體以平移調(diào)整像面位置。