[發明專利]增加光阻預烤爐內獨立溫控區域數量的結構

在審

• 申請號: 201410594193.8
• 申請日: 2014-10-29
• 公開（公告）號: CN105630024A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 李東明
• 申請（專利權）人: 李東明
• 主分類號: G05D23/19
• 分類號: G05D23/19;C03C17/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

技術領域

本發明涉及一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區域數量的結構，使熱板表面 的溫度均勻一致。

背景技術

按，玻璃基板是液晶顯示裝置(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗稱的 母玻璃或素玻璃，是一種高精密透明的電子零件，玻璃在液晶顯示裝置 (TFT-LCD)產業中扮演的角色好比是半導體產業中的晶圓，因此液晶顯示裝 置(TFT-LCD)產業對玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。

其次，液晶顯示裝置(TFT-LCD)的制程是分別利用兩塊無堿玻璃基板， 于無堿玻璃基板表面構裝彩色濾色片與IC電路，并將玻璃基板表面經過干式蝕 刻，將紅、藍、綠三原色與黑色以微細的結構建置于玻璃表面，成為彩色濾色 片，IC驅動電路則利用半導體制程，再將CMOS電路建置于玻璃表面，玻璃基 板的功能是做為彩色濾色片與IC驅動電路的承載材料，而液晶顯示裝置 (TFT-LCD)制程需要真空蒸鍍與蝕刻，所以玻璃基板，必須要能忍受強酸強 堿的腐蝕、高溫的制程環境，并且必須具備非常精密的表面平整度與平面起伏 度。

因此，玻璃基板在制造過程中的每個流程都非常精細，其中，當涂抹光阻 液后，需經過烘烤將感光劑及光阻液等化學物質揮發，此時，請配合參閱圖1 所示，該基板1進行烘烤時，是將基板1放在熱板11上，再憑借熱板11的熱 度使玻璃基板1表面的化學物質揮發，在此過程中，其溫度高達約攝氏70～150 ℃，且熱板11的熱源來自于底部的加熱器12，而該加熱器12則以1～15個區域 設置在熱板11下方，使熱板11中央、環邊或端邊能盡量保持均衡的溫度，然 而，盡管熱板11已經設置1～15個區域來控制溫度，卻還是無法在烘烤過程中 保持均溫，加上每一相鄰區域的溫度會互相干擾，使得烘烤效果不佳，而影響 液晶顯示裝置(TFT-LCD)的生產品質。

發明人是專門從事相關加熱機器的改良、制造及開發工作，深知傳統光阻 預烤裝置使用上的無法達到均勻加熱的缺失，使玻璃基板品質無法提升，于是 乃極力苦思解決的道，并憑借本身的專業及多年來的工作經驗，終于在歷經數 次的修正、試驗與改進后，首創出本發明。

發明內容

本發明涉及一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區域數量的結構，特別是指一 種運用在液晶顯示裝置(LCD)制程上的光阻預烤爐裝置，能使加熱區域的熱板達 到均溫，可有效均勻的除去玻璃基板的光阻溶劑及固化光阻。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：

一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區域數量的結構，其主要由腔體、熱板、 加熱器及溫度感應器所組成，該腔體底部為支撐底板，并利用上蓋板蓋合腔體 形成一封閉的加熱空間，在支撐底板向上依序設置加熱器及熱板，而能憑借加 熱器對熱板進行加熱，其特征在于：該熱板劃分為復數個小分區，且小分區是 配合加熱器的數量投影于熱板而成，并分成有16至60個區域，位于小分區下 方的加熱器是獨立對每一小分區進行加熱，使每一小分區都具有獨立的溫度控 制，能針對熱板的每一小分區上的各區域溫度進行調整。

由于本發明主要由腔體、熱板、加熱器、溫度感應器及支撐底板所組成， 該腔體底部為支撐底板，并利用上蓋板蓋合腔體形成一封閉的加熱空間，位于 腔體一側設有入口，供置入玻璃基板，而于任一側邊開設有排風口，以便于空 氣流通；位于支撐底板上方設置加熱器，其是利用電熱絲產生熱源，并于加熱 器上方設置一熱板，而能對熱板進行分區加熱；該熱板為具導熱性的金屬板， 可將加熱器的熱傳導至玻璃基板，至于溫度感應器則設于熱板上或加熱器內， 用以偵測熱板各區域的溫度，憑借各區域的溫度感應器來調整各區加熱器的溫 度，使熱板的各區域溫度可達到設定范圍內。

當腔體內進行加熱作業時，腔體為一封閉空間，腔體周圍或上方設有排氣 口，使空氣可排出腔體的外；而位于腔體內的熱板，受加熱器的加溫，以去除 玻璃基板表面的光阻溶劑及固化光阻。當烘烤一段時間后，該熱板每一區域的 溫度會產生差異，通常熱板中央的溫度會高于四周端邊處，使玻璃基板受熱不 均。而為控制熱板整體達到均溫，因此將加熱器分成數區域，可分區進行加熱， 并憑借溫度感應器偵測熱板在中央或端邊的各分區溫度，使熱板對玻璃基板能 持續的均勻加熱，有效提升生產合格率，及降低不合格率。

附圖說明

圖1是現有玻璃基板烘烤的示意圖；

圖2是本發明的立體分解圖；

圖3是本發明的另一實施例的示意圖；