[發明專利]增加光阻預烤爐內獨立溫控區域數量的結構

在審

• 申請號: 201410594193.8
• 申請日: 2014-10-29
• 公開（公告）號: CN105630024A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 李東明
• 申請（專利權）人: 李東明
• 主分類號: G05D23/19
• 分類號: G05D23/19;C03C17/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

1.一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區域數量的結構，其主要由腔體、熱板、 加熱器及溫度感應器所組成，該腔體底部為支撐底板，并利用上蓋板蓋合腔體 形成一封閉的加熱空間，在支撐底板向上依序設置加熱器及熱板，而能憑借加 熱器對熱板進行加熱，其特征在于：該熱板劃分為復數個小分區，且小分區是 配合加熱器的數量投影于熱板而成，并分成有16至60個區域，位于小分區下 方的加熱器是獨立對每一小分區進行加熱，使每一小分區都具有獨立的溫度控 制，能針對熱板的每一小分區上的各區域溫度進行調整。