[發明專利]噴淋蝕刻機

無效

• 申請號: 201410587717.0
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN104445969A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 蒲中軍;鄧飛;徐曉君;王川;吳永壽;宣繼;李政昊;王月利;鐘耀;鄧歡
• 申請（專利權）人: 成都工投電子設備有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種用于TFT-LCD面板加工領域的噴淋式蝕刻機。

背景技術

噴淋式蝕刻機主要應用于TFT-LCD面板的薄化，通過減小玻璃厚度，從而達到使最終產品更輕更薄、顯示色彩更加炫麗、觸控操作更加靈敏的作用，噴淋式蝕刻機是TFT-LCD面板制造過程的關鍵設備之一。隨著目前國內外手機、平板電腦、照相機、攝像機等行業升溫和產量增加，市場對TFT-LCD面板的需求與日劇增，TFT-LCD面板制造企業對液晶面板薄化工序設備的需求將越來越多，因此，液晶面板薄化成套設備的市場前景非常廣闊。目前，國內沒有掌握液晶面板薄化核心技術，不能生產液晶面板薄化成套設備，全球僅有美國、日本、韓國等少數國家能生產此類設備，國內所有同類設備均從韓國和日本進口。

發明內容

本發明針對上述技術現狀，通過不斷進行技術創新，在引進和借鑒日本、韓國此類設備先進技術的基礎上，積極開拓，開發了一種噴淋式蝕刻機，該機采用噴淋式蝕刻減薄技術，比傳統的研磨式、浸泡式有著明顯優勢，具有重大技術創新突破，在同類產品中達到了國際先進水平。

為了實現發明的最終目的，擬采用以下技術：

噴淋式蝕刻機，包括機體（1）以及與機體（1）的連接的藥液循環系統（2），其中，

機體（1）主要由清洗區（10），與清洗區（10）緊密銜接的蝕刻區（11）兩部分組成，所述清洗區（10）與蝕刻區（11）均設置有相應的清洗區驅動門（100）和蝕刻區驅動門（110），清洗區驅動門（100）和蝕刻區驅動門（110）把清洗區（10）和蝕刻區（11）隔離成兩個相互獨立的工作區，所述清洗區（10）上方設置有清洗噴淋裝置（101），清洗區（10）側板下方設置有同步帶傳送裝置（102），所述蝕刻區（11）上方設置有活動可拆卸的蝕刻噴淋裝置（111），蝕刻區（11）右下方設置有伺服驅動電機（112），所述機體（1）下方設置有貫穿清洗區（10）與蝕刻區（11）的滑軌（13），滑軌（13）配裝有相適應的托盤（14），機體（1）兩側側板下方設置有貫穿清洗區（10）與蝕刻區（11）的回型防水槽（15）；

本發明通過機體兩側側板下方設置有貫穿清洗區與蝕刻區的回型防水槽，工作過程中，回型防水槽通入循環水，使得伺服電機、減速器、同步帶傳送裝置與清洗區和蝕刻區隔離開，有效保護了伺服電機、減速器、同步帶傳送裝置，減少了酸霧對其的腐蝕，延長了伺服電機、減速器、同步帶傳送裝置的使用壽命。

藥液循環系統（2）主要由DA水罐體（20）、化學藥液罐體（21）以及與機體（1）相連接的管道、閥門以及循環泵組成，所述化學藥液罐體（21）上設置有液位指示器（210）、底部設置有加熱器（211），頂部設置有冷卻水連接器（214）以及恒溫傳感裝置（216）。

為達到減輕整機重量之目的，同時不失整機強度，所述清洗區（10）與蝕刻區（11）下方設置有貫穿機體（1）的牙嵌狀承載結構（12）。

為達到自動控制之目的，所述清洗區驅動門（100）由設置在清洗區（10）進料側的驅動電機（1000）、導向輪（1001）以及齒輪齒條機構（1002）共同控制。

同樣道理，所述蝕刻區驅動門（110）由設置在蝕刻區（11）進料側的驅動電機、導向輪、以及齒輪齒條機構共同控制，控制原理同清洗區驅動門（100）。

為方便后期保養、維修之目的，所述蝕刻噴淋裝置（111）可在蝕刻區（11）上活動拆卸，蝕刻噴淋裝置（111）在結構上主要由橫管（1110）、縱管（1112）以及布置在橫管（1110）與縱管（1112）之間的噴淋管（1113）組成，縱管（1112）上方連接有進液管，進液管上方設置有快速拆裝的活接頭（1115），縱管（1112）下方設置有導輪（1114），縱管（1112）與噴淋管（1113）之間設置有加強筋板（1111）。

為使托盤（14）在清洗區（10）和蝕刻區（11）運動速度適中且托盤（14）在兩條滑軌（13）運動平穩，所述伺服驅動電機（112）輸出端連接有減速器，減速器輸出端連接有同步帶輪，同步帶輪通過同步帶與設置在清洗區（10）下方的同步帶傳送裝置（102）相配合。

為達到雙面瀑布蝕刻流效果，所述蝕刻噴淋裝置（111）還設置有呈方形陣列形狀的可拆卸噴嘴單元，噴嘴單元設置在噴淋管（1113）的下方。

進一步地，所述化學藥液罐體（21）上方還設置有加液口（213）和藥液回流口（215），側面設置有出液口（212）。