[發明專利]噴淋蝕刻機

無效

• 申請號: 201410587717.0
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN104445969A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 蒲中軍;鄧飛;徐曉君;王川;吳永壽;宣繼;李政昊;王月利;鐘耀;鄧歡
• 申請（專利權）人: 成都工投電子設備有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.噴淋式蝕刻機，其特征在于：該機包括機體（1）以及與機體（1）的連接的藥液循環系統（2），其中，

機體（1）主要由清洗區（10），與清洗區（10）緊密銜接的蝕刻區（11）兩部分組成，所述清洗區（10）與蝕刻區（11）均設置有相應的清洗區驅動門（100）和蝕刻區驅動門（110），清洗區驅動門（100）和蝕刻區驅動門（110）把清洗區（10）和蝕刻區（11）隔離成兩個相互獨立的工作區，所述清洗區（10）上方設置有清洗噴淋裝置（101），清洗區（10）側板下方設置有同步帶傳送裝置（102），所述蝕刻區（11）上方設置有活動可拆卸的蝕刻噴淋裝置（111），蝕刻區（11）右下方設置有伺服驅動電機（112），所述機體（1）下方設置有貫穿清洗區（10）與蝕刻區（11）的滑軌（13），滑軌（13）配裝有相適應的托盤（14），機體（1）兩側側板下方設置有貫穿清洗區（10）與蝕刻區（11）的回型防水槽（15）；

藥液循環系統（2）主要由DA水罐體（20）、化學藥液罐體（21）以及與機體（1）相連接的管道、閥門以及循環泵組成，所述化學藥液罐體（21）上設置有液位指示器（210）、底部設置有加熱器（211），頂部設置有冷卻水連接器（214）以及恒溫傳感裝置（216）。

2.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述清洗區（10）與蝕刻區（11）下方設置有貫穿機體（1）的牙嵌狀承載結構（12）。

3.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述清洗區驅動門（100）由設置在清洗區（10）進料側的驅動電機（1000）、導向輪（1001）以及齒輪齒條機構（1002）共同控制。

4.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述蝕刻區驅動門（110）由設置在蝕刻區（11）進料側的驅動電機、導向輪、以及齒輪齒條機構共同控制。

5.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述蝕刻噴淋裝置（111）主要由橫管（1110）、縱管（1112）以及布置在橫管（1110）與縱管（1112）之間的噴淋管（1113）組成，縱管（1112）上方連接有進液管，進液管上方設置有快速拆裝的活接頭（1115），縱管（1112）下方設置有導輪（1114），縱管（1112）與噴淋管（1113）之間設置有加強筋板（1111）。

6.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述伺服驅動電機（112）輸出端連接有減速器，減速器輸出端連接有同步帶輪，同步帶輪通過同步帶與設置在清洗區（10）下方的同步帶傳送裝置（102）相配合。

7.根據權利要求1或5所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述蝕刻噴淋裝置（111）還設置有呈方形陣列形狀的可拆卸噴嘴單元，噴嘴單元設置在噴淋管（1113）的下方。

8.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述化學藥液罐體（21）上方還設置有加液口（213）和藥液回流口（215），側面設置有出液口（212）。

9.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述機體（1）數量為2-6個，所述化學藥液罐體（21）數量為2個。

10.根據權利要求1所述的噴淋式蝕刻機，其特征在于：所述機體（1）表面及內部各結構均采用PVC材料包裹。