[發(fā)明專利]用于雙面鍍膜的石墨舟片及石墨舟

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410582768.4
• 申請(qǐng)日: 2014-10-27
• 公開（公告）號(hào): CN104282604A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃紀(jì)德;蔣方丹;金井升;金浩;陳康平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 趙青朵

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于雙面鍍膜的石墨舟。

背景技術(shù)

太陽能硅片的生產(chǎn)加工中有一道工序叫做等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉(zhuǎn)化率。這個(gè)工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，通過等離子化學(xué)氣相沉積，在骨片表面沉積一層深藍(lán)色氮化硅膜。

石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)換效率和生產(chǎn)效率。目前，石墨舟均包括間隔設(shè)置的若干第一石墨舟片、第二石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨螺母、第一連接塊和第二連接塊；第一石墨舟片的結(jié)構(gòu)和第二石墨舟片的結(jié)構(gòu)相同，第一石墨舟片一端的下部和中部分別設(shè)置有第一接線凸耳，第二石墨舟片另一端的下部和中部分別設(shè)置有第二接線凸耳；陶瓷套設(shè)置在第一石墨舟片和第二石墨舟片之間，再通過陶瓷桿穿過若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套固定；第一連接塊設(shè)置在相鄰兩第一接線凸耳之間，再通過陶瓷桿、石墨桿穿過若干第一接線凸耳和第一連接塊與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片和第一連接塊固定；第二連接塊設(shè)置在相鄰兩第二接線凸耳之間，再通過陶瓷桿、石墨桿穿過若干第二接線凸耳和二連接塊與石墨螺母配合將若干第二石墨舟片和第二連接塊固定。

在采用上述石墨舟對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜時(shí)，每個(gè)硅片位的硅片通常是背靠背裝片，石墨舟片間接入射頻電源，硅片作為電極的一部分，兩舟片間通過射頻放電形成等離子體，使硅片上沉積上減反射膜。現(xiàn)有技術(shù)公開的石墨舟在鍍膜時(shí)只在硅片一面鍍上了鈍化膜或減反膜，不利于其推廣應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于雙面鍍膜的石墨舟，本發(fā)明提供的石墨舟能夠?qū)杵M(jìn)行雙面鍍膜。

本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位；

所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。

優(yōu)選的，每個(gè)鏤空硅片位上設(shè)置2個(gè)～5個(gè)硅片卡件。

優(yōu)選的，所述鏤空硅片位為四邊形；

所述四邊形的鏤空硅片位的四個(gè)側(cè)邊中至少1個(gè)不設(shè)置硅片卡件。

優(yōu)選的，所述硅片卡件為V型。

優(yōu)選的，所述硅片卡件包括第一卡面和第二卡面；

所述第一卡面的一端和第二卡面的一端相接構(gòu)成V型硅片卡件。

優(yōu)選的，所述鏤空硅片位的尺寸大于待鍍膜的硅片。

優(yōu)選的，所述石墨舟片的長(zhǎng)度為1000mm～1500mm；

所述石墨舟片上的鏤空硅片位為3個(gè)～10個(gè)。

優(yōu)選的，所述石墨舟片的長(zhǎng)度為1100mm～1300mm。

本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟，包括多片上述技術(shù)方案所述的石墨舟片。

優(yōu)選的，所述石墨舟片的片數(shù)為11片～21片。

本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位；所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。本發(fā)明還提供了一種用于雙模鍍膜的石墨舟，包括多片上述技術(shù)方案所述的石墨舟片。本發(fā)明提供的石墨舟包括的石墨片上設(shè)置有鏤空的硅片位，通過鏤空硅片位邊緣設(shè)置的硅片卡件將待鍍膜的硅片卡在硅片位上，從而在一次鍍膜的進(jìn)程中，實(shí)現(xiàn)硅片的雙面鍍膜。而且，本發(fā)明提供的石墨舟與傳統(tǒng)的太陽能電池生產(chǎn)線兼容，適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中硅片卡件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中硅片位邊緣設(shè)置有3個(gè)硅片卡件的石墨舟片結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例中硅片位邊緣設(shè)置有4個(gè)硅片卡件的石墨舟片結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例中石墨舟的正視圖。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位；

所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。

本發(fā)明提供的石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位，通過所述鏤空硅片位邊緣的硅片卡件將待鍍膜的硅片固定在石墨舟片上，在對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜時(shí)，可同時(shí)對(duì)硅片的雙面進(jìn)行鍍膜，得到雙模鍍膜的硅片。