[發(fā)明專利]真空鍍膜用實(shí)時(shí)膜厚修正板及其控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410577335.X
• 申請(qǐng)日: 2014-10-24
• 公開（公告）號(hào): CN104313537A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張殷;鄧琪;張小飛;王靜輝;呂子嘯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 山西五維專利事務(wù)所(有限公司) 14105
• 代理人: 雷立康

1.一種真空鍍膜用實(shí)時(shí)膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其特征在于：它還包括旋轉(zhuǎn)膜厚修正板、旋轉(zhuǎn)裝置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板設(shè)在膜厚修正板支架的一邊，在固定膜厚修正板上設(shè)有能使旋轉(zhuǎn)膜厚修正板旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)膜厚修正板設(shè)在固定膜厚修正板的上面并使設(shè)置在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板上的導(dǎo)柱位于回轉(zhuǎn)導(dǎo)軌中，旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)在固定膜厚修正板上并位于旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的一側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜用實(shí)時(shí)膜厚修正板，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)裝置由齒輪、齒條和動(dòng)力機(jī)構(gòu)組成，齒輪設(shè)在固定膜厚修正板上并與動(dòng)力機(jī)構(gòu)的輸出軸連接，齒條設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的一側(cè)并與齒輪相嚙合。

3.一種權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用實(shí)時(shí)膜厚修正板的控制方法，其特征在于：主監(jiān)控點(diǎn)設(shè)在旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的旋轉(zhuǎn)中心上，輔助監(jiān)控點(diǎn)設(shè)在主監(jiān)控點(diǎn)的一側(cè)或兩側(cè)；實(shí)時(shí)比較主監(jiān)控點(diǎn)與輔助監(jiān)控點(diǎn)的鍍膜速率，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)膜厚修正板的角度，使其遮擋鍍膜速率過(guò)快的部分，并同時(shí)減少鍍膜速率偏慢的部分，在保證主監(jiān)控點(diǎn)鍍膜速率穩(wěn)定的條件下實(shí)現(xiàn)快速實(shí)時(shí)膜厚分布的修正。