[發明專利]真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法

有效

• 申請號: 201410577335.X
• 申請日: 2014-10-24
• 公開（公告）號: CN104313537A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 張殷;鄧琪;張小飛;王靜輝;呂子嘯
• 申請（專利權）人: 杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 山西五維專利事務所(有限公司) 14105
• 代理人: 雷立康

技術領域

本發明涉及一種真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法，它屬于光學真空鍍膜實時膜厚修正的設備和控制方法。

背景技術

在真空鍍膜中，蒸鍍源(靶材)正上方的蒸發物濃度最高，導致鍍膜基板上的薄膜厚度從中間到邊緣出現不一致的現象。目前厚度均勻的薄膜獲得，通常是通過基板旋轉架和膜厚修正板來解決。在鍍膜基板架與蒸鍍源之間設置一修正板，通過修正板來遮擋蒸鍍源正上方的蒸發物，以減少蒸鍍源正上方基板玻璃膜層的厚度。但由于現在的膜厚修正板通常都是固定裝在基板旋轉架的下方，無法改變膜厚修正板的轉角，因此，存在的浪費鍍膜材料大、產品質量差的缺陷。

另外，由于現在的膜厚修正板通常都是固定裝在基板旋轉架上，無法對其進行實時控制，因此，存在的鍍膜不均勻和產品質量差的缺陷。

發明內容

本發明的目的是解決現有的膜厚修正板存在的鍍膜材料浪費大、鍍膜不均勻和產品質量差的技術問題，提供一種鍍膜耗材小、鍍膜均勻、產品質量好和結構簡單的真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：

真空鍍膜用實時膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它還包括旋轉膜厚修正板、旋轉裝置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板設在膜厚修正板支架的一邊，在固定膜厚修正板上設有能使旋轉膜厚修正板旋轉的回轉導軌，旋轉膜厚修正板設在固定膜厚修正板的上面并使設置在旋轉膜厚修正板上的導柱位于回轉導軌中，旋轉裝置設在固定膜厚修正板上并位于旋轉膜厚修正板的一側。

所述旋轉裝置由齒輪、齒條和動力機構組成，齒輪設在固定膜厚修正板上并與動力機構的輸出軸連接，齒條設在旋轉膜厚修正板的一側并與齒輪相嚙合。

所述真空鍍膜用實時膜厚修正板的控制方法，其主監控點設在旋轉膜厚修正板的旋轉中心上，輔助監控點設在主監控點的一側或兩側；實時比較主監控點與輔助監控點的鍍膜速率，調節旋轉膜厚修正板的角度，使其遮擋鍍膜速率過快的部分，并同時減少鍍膜速率偏慢的部分，在保證主監控點鍍膜速率穩定的條件下實現快速實時膜厚分布的修正。

由于本發明采用了上述技術方案，解決了現有的膜厚修正板存在的鍍膜材料浪費大、鍍膜不均勻和產品質量差的技術問題，因此，與現有技術相比，本發明的有益效果是：①監控半徑設在旋轉膜厚修正板的旋轉中心，從而保證了監控點鍍膜速率的穩定可靠。在保證光學膜厚儀精確度不變的情況下,調節膜厚的分布方便快捷；②機械結構更加簡單可靠；③與目前鍍膜機上廣泛使用的固定膜厚修正板相比,降低了鍍膜材料的耗損，減輕了離子源漂移等因素的影響,提高了鍍膜產品的質量。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖；

圖2是本發明旋轉膜厚修正板的結構示意圖；

圖3是本發明固定膜厚修正板的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的詳細描述。

如圖1、圖2和圖3所示，本實施例中的真空鍍膜用實時膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架2，其中：它還包括旋轉膜厚修正板1、旋轉裝置和固定膜厚修正板3，固定膜厚修正板3設在膜厚修正板支架2的一邊，在固定膜厚修正板3上設有能使旋轉膜厚修正板1旋轉的回轉導軌11，旋轉膜厚修正板1設在固定膜厚修正板3的上面并使設置在旋轉膜厚修正板1上的導柱8位于回轉導軌11中，旋轉裝置設在固定膜厚修正板2上并位于旋轉膜厚修正板1的一側。所述旋轉裝置由齒輪4、齒條9和動力機構組成，齒輪4設在固定膜厚修正板3上并與動力機構的輸出軸10連接，齒條9設在旋轉膜厚修正板1的一側并與齒輪4相嚙合。主監控點7設置在旋轉膜厚修正板1的旋轉中心5上，輔助監控點6位于主監控點7一側或兩側。

如圖1所示，上述實施例中的真空鍍膜用實時膜厚修正板的控制方法，其主監控點7設在旋轉膜厚修正板的旋轉中心5上，輔助監控點6設在主監控點7的一側或兩側；實時比較主監控點7與輔助監控點6的鍍膜速率，調節旋轉膜厚修正板1的角度，使其遮擋鍍膜速率過快的部分，并同時減少鍍膜速率偏慢的部分，在保證主監控點7鍍膜速率穩定的條件下實現快速實時膜厚分布的修正。

本發明的工作原理是：首先將旋轉膜厚修正板1放置在水平位置；然后通過修改固定膜厚修正板3的形狀，使薄膜的厚度分布達到均勻一致；最后，確認膜厚分布的變化沿修正板調節方向呈線性變化。然后比較主監控點7和輔助監控點6的鍍膜速率，不斷調整旋轉膜厚修正板1的角度，鍍膜速率快的一端要用旋轉膜厚修正板1增加遮擋面積，并同時減少鍍膜速率慢的一端，直至在整個監控范圍獲得最佳的膜厚分布。