[發明專利]一種利用多晶硅塊和鱗片石墨制備高純碳化硅粉的方法無效
| 申請號： | 201410570173.7 | 申請日： | 2014-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN104401995A | 公開（公告）日： | 2015-03-11 |
| 發明（設計）人： | 徐所成;徐永寬;孟大磊;張政;張皓 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號： | C01B31/36 | 分類號： | C01B31/36 |
| 代理公司： | 天津中環專利商標代理有限公司 12105 | 代理人： | 王鳳英 |
| 地址： | 300220*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 多晶 鱗片 石墨 制備 高純 碳化硅 方法 | ||
【權利要求書】：
1.?一種利用多晶硅塊和鱗片石墨制備高純碳化硅粉的方法，其特征在于：
其步驟如下：
步驟一.將鱗片石墨和多晶硅塊按質量比為1:2-1:2.5裝入石墨坩堝中,?將多晶硅塊置于石墨坩堝底層,然后將鱗片石墨均勻鋪散在多晶硅塊上面；
步驟二.將裝有鱗片石墨和多晶硅塊的石墨坩堝放入感應爐中，抽真空4-10小時，真空度達到10-5mbar；
步驟三.將溫度迅速升至1300-1600℃，充入氬氣或氬氣和氫氣的混合氣體，氬氣流量為0.1-5L/min，氫氣流量為0-1L/min，壓力為3-20mbar，并保溫2-4小時；
步驟四.將溫度迅速升至1800-2300℃，升溫速率為10-30℃/min，保溫2-10小時；
步驟五.取出合成好的碳化硅粉在石墨研缽中粉碎，即得到高純碳化硅粉。
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