[發明專利]壓印設備和制造制品的方法

有效

• 申請號: 201410551185.5
• 申請日: 2014-10-17
• 公開（公告）號: CN104570594B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 村上洋介;林達也;中川一樹
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 賈金巖

1.一種壓印設備，所述壓印設備實施通過使用模具在基板上對于基板中的第一區域和第二區域中的每個區域形成壓印材料的圖案的壓印處理，所述壓印設備包括：

加熱單元，所述加熱單元構造成加熱基板，從而使基板上的待壓印的區域變形；和

處理單元，所述處理單元構造成，確定針對第一區域和第二區域實施壓印處理的順序，使得第一區域和第二區域中的一個區域將首先被壓印，第一區域和第二區域中的另一個區域將隨后被壓印，

其中，處理單元確定所述順序，使得在所述加熱單元使得所述一個區域變形以使得所述一個區域接近目標形狀的情況中對所述另一個區域造成的影響小于在所述加熱單元使得所述另一個區域變形以使得所述另一個區域接近所述目標形狀的情況中對所述一個區域造成的影響。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，所述第一區域和所述第二區域布置成相互毗鄰。

3.根據權利要求2所述的設備，其中，所述處理單元根據所述第一區域中的在第二區域一側上的部分的形狀和目標形狀的對應部分之間的差以及所述第二區域中的在第一區域一側上的部分的形狀和目標形狀的對應部分之間的差來確定所述順序。

4.根據權利要求2所述的設備，其中，所述處理單元基于將被施加到所述第一區域中的位于第二區域一側上的部分的熱劑量和將被施加到所述第二區域中的位于第一區域一側上的部分的熱劑量來確定所述順序。

5.根據權利要求4所述的設備，其中，所述處理單元根據針對所述一個區域的熱劑量調節針對所述另一個區域的熱劑量。

6.根據權利要求1所述的設備，其中，所述加熱單元包括光源，并且通過用由所述光源發射的光照射所述基板加熱所述基板。

7.一種壓印設備，所述壓印設備實施通過使用模具在基板上對于基板中的多個區域中的每個區域形成壓印材料的圖案的壓印處理，所述壓印設備包括：

加熱單元，所述加熱單元構造成加熱基板，從而使所述基板上的待壓印區域變形；和

處理單元，所述處理單元構造成，在多個區域中將第二區域確定為緊接在第一區域之后將被壓印的區域，

其中，所述處理單元將與所述第一區域毗鄰的區域中的、在第一區域的壓印處理中由加熱單元加熱所述第一區域造成的影響最小的區域確定為第二區域。

8.根據權利要求7所述的設備，其中，所述處理單元基于通過所述加熱單元在所述第一區域中形成的熱量分布來確定所述第二區域。

9.一種壓印設備，所述壓印設備實施通過使用模具在基板上對于排列在基板上的多個區域中的每個區域形成壓印材料的圖案的壓印處理，所述壓印設備包括：

加熱單元，所述加熱單元構造成加熱基板，從而使所述基板上的待壓印區域變形；和

處理單元，所述處理單元構造成，基于所述多個區域的形狀將符合沿著所述多個區域的陣列方向的第一方向的第一順序和符合與所述第一方向相反的第二方向的第二順序中的一個確定為針對所述多個區域實施壓印處理的順序。

10.根據權利要求9所述的設備，其中，所述處理單元通過使用評估函數評估每個區域的形狀，并且基于評估結果確定針對所述多個區域實施壓印處理的順序。

11.根據權利要求9所述的設備，其中，在所述多個區域包括在壓印處理中由所述加熱單元施加的熱劑量超過閾值的區域的情況中，所述處理單元改變所確定的順序，以最后實施對于所述在壓印處理中由所述加熱單元施加的熱劑量超過閾值的區域的壓印處理。