[發明專利]一種晶圓測試數據的處理方法及系統

有效

• 申請號: 201410549126.4
• 申請日: 2014-10-16
• 公開（公告）號: CN105574039B
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 余勝元;牛海軍;關玉嬌;魏紅生
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G06F16/25
• 分類號: G06F16/25
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種晶圓測試數據的處理方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供待測晶圓，并對所述待測晶圓進行晶圓測試，以獲取該待測晶圓的第一測試數據組；

于所述第一測試數據組中提取并整理部分數據，形成第二測試數據組；

對所述第二測試數據組進行運算操作，得到監控測試數據；

對所述第二測試數據組和所述監控測試數據進行格式標準化轉換操作后，生成一標準數據集合；對所述標準數據集合進行壓縮操作，并將壓縮后的所述標準數據集合存儲至一數據庫中。

2.如權利要求1所述的晶圓測試數據的處理方法，其特征在于，所述方法中于所述第一測試數據組中提取并整理部分數據的步驟具體為：

于所述第一測試數據組中提取部分數據后，對提取的數據進行分類匯總，以得到所述第二測試數據組。

3.如權利要求1所述的晶圓測試數據的處理方法，其特征在于，所述第二測試數據組包括晶圓屬性信息、測試參數信息和測試結果信息。

4.如權利要求3所述的晶圓測試數據的處理方法，其特征在于，

對所述第二測試數據組和所述監控測試數據進行格式標準化轉換操作后，生成包括主信息集合和子信息集合的所述標準數據集合，并對該標準數據集合進行解析和壓縮操作后，將解析和壓縮后的結果存儲至所述數據庫中；

其中，所述晶圓屬性信息定義在所述主信息集合中，所述測試參數信息、所述測試結果信息以及所述監控測試數據均定義在所述子信息集合中。

5.如權利要求4所述的晶圓測試數據的處理方法，其特征在于，

所述子信息集合由若干個項目構成，且該若干個項目均是以所述測試參數信息為單位，對所述測試結果信息和所述監控測試數據進行處理后生成該若干項目。

6.如權利要求5所述的晶圓測試數據的處理方法，其特征在于，

每個所述項目中均包括對應于該項目的測試參數信息和以該測試參數信息進行的晶圓測試所生成的測試結果信息，以及對該測試結果信息進行運算操作后生成的監控測試數據；

其中，所述待測晶圓上設置有若干個芯片，在每個所述項目中每個芯片的測試結果信息均是根據該芯片在晶圓上的相對坐標按行輸出。

7.如權利要求4所述的晶圓測試數據的處理方法，其特征在于，所述數據庫中設置有屬性信息存儲模塊、測試參數存儲模塊、測試結果存儲模塊和監控數據存儲模塊；

所述屬性信息存儲模塊存儲定義在所述主信息集合中的晶圓屬性信息；

所述測試參數存儲模塊存儲定義在所述子信息集合中的測試參數信息；

所述測試結果存儲模塊存儲定義在所述子信息集合中的測試結果信息經過壓縮后的結果；

所述監控數據存儲模塊存儲定義在所述子信息集合中的監控測試數據。

8.一種晶圓測試數據的處理系統，其特征在于，所述系統包括數據采集模塊、提取轉換模塊、加載模塊和數據庫：

所述數據采集模塊在待測晶圓完成晶圓測試后，獲取該晶圓的第一測試數據組，并將所述第一測試數據組發送至所述提取轉換模塊；

所述提取轉換模塊對所述第一測試數據組進行處理后，獲取一標準數據集合，并將所述標準數據集合發送至所述加載模塊；

所述加載模塊對所述標準數據集合進行壓縮操作后，將壓縮的所述標準數據集合存儲至所述數據庫中；

其中，所述標準數據集合包括經格式標準化轉換操作后的第二測試數據組和監控測試數據，所述提取轉換模塊于所述第一測試數據組中提取并整理部分數據形成所述第二測試數據組，所述提取轉換模塊對所述第二測試數據組進行運算操作得到所述監控測試數據。

9.如權利要求8所述的晶圓測試數據的處理系統，其特征在于，所述提取轉換模塊于所述第一測試數據組中提取并整理部分數據形成所述第二測試數據組，具體為：

所述提取轉換模塊于所述第一測試數據組中提取部分數據后，對提取的數據進行分類匯總，得到所述第二測試數據組。