[發(fā)明專利]光致抗蝕劑回收系統(tǒng)及其方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410548284.8
• 申請日: 2014-10-16
• 公開（公告）號: CN105487338A
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝國信;羅健賓
• 申請（專利權(quán)）人: 力晶科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，包括：

儲存瓶，用以存放光致抗蝕劑液，所述儲存瓶具有瓶蓋，在所述瓶蓋上 設(shè)有第一接頭、第二接頭與第三接頭；

加壓裝置，與所述第一接頭連接；

排出管路，與所述瓶蓋的所述第二接頭連接；

第一切換裝置，設(shè)置于所述排出管路上；

第二切換裝置，設(shè)置于所述儲存瓶與所述第一切換裝置之間的所述排出 管路上；

回收管路，連接所述第三接頭以及在所述第一切換裝置與所述第二切換 裝置之間的所述排出管路；以及

第三切換裝置，設(shè)置于所述回收管路上。

2.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，其中所述第一接頭為快速 接頭。

3.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，其中所述第二接頭還具有 第二接頭抽取管路延伸至靠近所述儲存瓶的瓶底處，用以抽取光致抗蝕劑 液；第三接頭設(shè)置有第三接頭抽取管路，用以回收光致抗蝕劑液。

4.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，其中所述加壓裝置為氮?dú)? 加壓裝置。

5.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，還包括：

暫存桶，設(shè)置于所述儲存瓶與所述第二切換裝置之間的所述排出管路 上，并且所述暫存桶通過輸送管路連接至機(jī)臺。

6.如權(quán)利要求5所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，還包括：

偵測器，設(shè)置于所述儲存瓶與所述暫存桶之間的所述排出管路上。

7.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，其中所述排出管路是通過 三通接頭與所述回收管路連接。

8.如權(quán)利要求7所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，其中所述三通接頭的材質(zhì) 為鐵氟龍。

9.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，其中所述第一切換裝置、 所述第二切換裝置與所述第三切換裝置為二向閥。

10.如權(quán)利要求9所述的光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，其中所述二向閥的材質(zhì) 為鐵氟龍。

11.一種光致抗蝕劑回收方法，適用于光致抗蝕劑回收系統(tǒng)，所述光致 抗蝕劑回收系統(tǒng)包括：儲存瓶，用以存放光致抗蝕劑液，所述儲存瓶具有瓶 蓋，在所述瓶蓋上設(shè)有第一接頭、第二接頭與第三接頭；加壓裝置，與所述 第一接頭連接；排出管路，與所述第二接頭連接；第一切換裝置，設(shè)置于所 述排出管路上；第二切換裝置，設(shè)置于所述儲存瓶與所述第一切換裝置之間 的所述排出管路上；回收管路，連接所述第三接頭以及在所述第一切換裝置 與所述第二切換裝置之間的所述排出管路；以及第三切換裝置，設(shè)置于所述 回收管路上，所述光致抗蝕劑回收方法，包括：

關(guān)閉所述第一切換裝置、所述第二切換裝置及所述第三切換裝置；

將所述加壓裝置連接至所述第一接頭，并使得所述儲存瓶處于飽壓狀 態(tài)；

打開所述第二切換裝置，使得所述儲存瓶受到壓力的影響，而使所述光 致抗蝕劑液經(jīng)由所述排出管路流向所述回收管路；以及

打開所述第三切換裝置，并從所述第一接頭移除所述加壓裝置的連接， 利用壓力差使得所述回收管路中的所述光致抗蝕劑液流向所述儲存瓶。

12.如權(quán)利要求11所述的光致抗蝕劑回收方法，其中所述第一接頭為快 速接頭。

13.如權(quán)利要求11所述的光致抗蝕劑回收方法，其中所述第二接頭還具 有第二接頭抽取管路延伸至靠近所述儲存瓶的瓶底處，用以抽取光致抗蝕劑 液；第三接頭設(shè)置有第三接頭抽取管路，用以回收光致抗蝕劑液。

14.如權(quán)利要求11所述的光致抗蝕劑回收方法，其中所述加壓裝置為氮 氣加壓裝置。

15.如權(quán)利要求11所述的光致抗蝕劑回收方法，其中，所述的光致抗蝕 劑回收系統(tǒng)還包括：

暫存桶，設(shè)置于所述儲存瓶與所述第二切換裝置之間的所述排出管路 上，并且所述暫存桶通過輸送管路連接至機(jī)臺。