[發(fā)明專利]一種液體涂布裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410538091.4 | 申請(qǐng)日： | 2014-10-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105487353A | 公開（公告）日： | 2016-04-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 尹寧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/30 | 分類號(hào)： | G03F7/30;B05C5/02;B05C11/06 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 液體 裝置 | ||
1.一種液體涂布裝置，其特征在于：包括噴嘴蓋(1)及噴嘴主 體(4)，其中噴嘴蓋(1)與噴嘴主體(4)密封連接，中間形成密閉 腔室(6)，所述噴嘴蓋(1)上設(shè)有進(jìn)液口(2)，所述噴嘴主體(4) 上開有螺旋狀的流道(7)，該流道(7)內(nèi)設(shè)有排出顯影液的出液孔 (8)；由所述進(jìn)液口(2)流入的顯影液流至所述流道(7)中，并從 所述出液孔(8)排出，同時(shí)涂布于整個(gè)晶圓的表面。
2.按權(quán)利要求1所述的液體涂布裝置，其特征在于：所述噴嘴 蓋(1)上設(shè)有排氣孔(3)。
3.按權(quán)利要求2所述的液體涂布裝置，其特征在于：所述進(jìn)液 口(2)的軸向中心線與排氣孔(3)的軸向中心線平行，且分別垂直 于所述噴嘴主體(4)。
4.按權(quán)利要求1或2所述的液體涂布裝置，其特征在于：所述 出液孔(8)按螺旋狀分布，與所述流道(7)的螺旋狀軌跡相對(duì)應(yīng)。
5.按權(quán)利要求1或2所述的液體涂布裝置，其特征在于：所述 噴嘴蓋(1)為中空的圓錐狀，其頂端設(shè)有進(jìn)液口(2)，所述噴嘴蓋 (1)下端的邊緣通過密封圈(5)與所述噴嘴主體(4)密封連接。
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