[發明專利]一種微電容測試連接裝置在審

申請號：	201410537738.1	申請日：	2014-10-13
公開（公告）號：	CN104267229A	公開（公告）日：	2015-01-07
發明（設計）人：	朱小燕;陳計學;潘結斌	申請（專利權）人：	華東光電集成器件研究所
主分類號：	G01R15/00	分類號：	G01R15/00
代理公司：	安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113	代理人：	楊晉弘
地址：	233042 安徽***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種電容測試連接裝置
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【權利要求書】：

1.一種微電容測試連接裝置，包括金屬底座(1)，其特征在于，所述金屬底座(1)頂面設有背面共地結構的共面波導(2)，共面波導(2)的導電金屬帶(4)上設有用于放置電容的卡槽(13)，導電金屬帶(4)的兩端分別設有與電容測試儀連接的SMA接口；共面波導(2)及SMA接口的特征阻抗與電容測試儀的特征阻抗相匹配。

2.根據權利要求1所述的一種微電容測試連接裝置，其特征在于，所述共面波導(2)的頂面沿卡槽(13)的兩側分別設有固定柱，固定柱沿導電金屬帶(4)垂直方向設有與其螺紋配合的調節螺栓，調節螺栓的頭部朝向卡槽(13)并設有絕緣壓頭。

3.根據權利要求1或2所述的一種微電容測試連接裝置，其特征在于，所述卡槽(13)設置在導電金屬帶(4)的中心。

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