[發明專利]檢測用夾具、電極部、探針及檢測用夾具的制造方法

在審

• 申請號: 201410524378.1
• 申請日: 2014-10-08
• 公開（公告）號: CN104515880A
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 沼田清
• 申請（專利權）人: 日本電產理德股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王波波

1.一種檢測用夾具，包括：

復數個探針，接觸基板的檢測點；以及

復數個電極部，將所述探針和對所述基板上形成的配線進行檢測處理的檢測處理部相電連接，

所述探針包括：

芯狀探針，電連接于所述檢測點；以及

筒狀探針，與所述芯狀探針絕緣的狀態下，配置在所述芯狀探針的外側，并電連接于所述檢測點，

所述電極部包括：

內筒電極部，與插入的所述芯狀探針的外周面接觸，從而電連接于所述芯狀探針；以及

外筒電極部，與所述內筒電極部絕緣的狀態下，配置在所述內筒電極部的外側，并電連接于所述筒狀探針。

2.根據權利要求1所述的檢測用夾具，其特征在于，

在所述芯狀探針的電極部側的端部形成越往前端外徑變細的錐形部。

3.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，

所述外筒電極部的探針側的端部面的位置比所述內筒電極部的探針側的端部面靠向探針側。

4.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，

所述筒狀探針的電極部側的端部面和所述外筒電極部的探針側的端部面相接觸，從而所述筒狀探針和所述外筒電極部電連接。

5.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，

還包括用于插入所述電極部的電極部插入部，

在所述外筒電極部的探針側的端部形成有電極部定位部，

通過所述電極部定位部，所述電極部保持在所述電極部插入部。

6.根據權利要求5所述的檢測用夾具，其特征在于，

所述電極部定位部的厚度及外徑大于所述外筒電極部的所述探針側的剩余部分。

7.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，

所述內筒電極部是以絕緣體包覆。

8.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，

所述筒狀探針上以長度方向形成有能彈性變形的彈簧，在所述彈簧縮小的狀態下，所述探針和所述電極部連接。

9.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，還包括：

探針插入部，用于插入所述探針；以及

探針固定部，將所述探針固定在所述探針插入部，

在所述筒狀探針形成有外徑比所述筒狀探針之剩余部分大的探針定位部，

所述探針定位部和所述探針固定部相接觸，從而所述探針固定在所述探針插入部。

10.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，

所述探針的配置間隔是100μm以下。

11.一種電極部，將接觸基板上檢測點的雙重結構的探針和對所述基板上形成的配線進行檢測處理的檢測處理部相電連接，其特征在于所述電極部包括：

內筒電極部，插入有所述雙重結構的內側的芯狀探針，并與所述芯狀探針的外周面接觸，從而電連接于所述芯狀探針；以及

外筒電極部，與所述內筒電極部絕緣的狀態下，配置在所述內筒電極部的外側，并與所述雙重結構的外側的筒狀探針電連接。

12.一種探針，接觸基板上的檢測點，并通過由內筒電極部和外筒電極部構成的電極部，電連接于對所述基板上形成的配線進行檢測處理的檢測處理部，其特征在于所述探針包括：

芯狀探針，在一端側電連接于所述檢測點，在另一端側接觸所述內筒電極部的內周面，從而電連接于所述內筒電極部；以及

筒狀探針，與所述芯狀探針絕緣的狀態下，配置在所述芯狀探針的外側，且在一端側電連接于所述檢測點，在另一端側與所述外筒電極部電連接。

13.一種檢測用夾具的制造方法，其中所述檢測用夾具包括復數個探針和復數個電極部，

所述探針包括：芯狀探針，電連接于基板的檢測點；以及筒狀探針，與所述芯狀探針絕緣的狀態下配置在所述芯狀探針的外側，并電連接于所述檢測點，

所述電極部包括：內筒電極部，與所述芯狀探針的外周面接觸而電連接；以及外筒電極部，與所述內筒電極部絕緣的狀態下配置在所述內筒電極部的外側，并與所述筒狀探針電連接，

其特征在于所述制造方法，包含：

探針插入工藝，插入有所述電極部的電極部插入部和用于插入所述探針的探針插入部在重疊的狀態下，將所述探針插入所述探針插入部，以連接所述探針和所述電極部；以及

探針固定工藝，通過設置探針固定部，從而固定在所述探針插入工藝中插入的所述探針。