[發(fā)明專利]檢測(cè)用夾具、電極部、探針及檢測(cè)用夾具的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410524378.1
• 申請(qǐng)日: 2014-10-08
• 公開（公告）號(hào): CN104515880A
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沼田清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王波波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于檢測(cè)在基板上形成的配線圖形的檢測(cè)用夾具。

背景技術(shù)

以往，知悉有檢測(cè)基板配線圖形的基板檢測(cè)裝置。基板檢測(cè)裝置是，將檢測(cè)用夾具接觸基板的檢測(cè)點(diǎn)，測(cè)定配線間的電阻值來檢測(cè)配線圖形。

而且，測(cè)定配線間電阻值的方法有四探針法。四探針法是，將供應(yīng)電流用探針和測(cè)定電壓用探針2個(gè)探針同時(shí)接觸檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)的方法。使用四探針法，可以忽視電壓測(cè)定用探針和檢測(cè)點(diǎn)之間流過的電流，因此可以正確地測(cè)定兩個(gè)檢測(cè)點(diǎn)之間的電壓，可以求得正確的電阻值。

以往，使用四探針法時(shí)，在排列形成的一組孔(2個(gè)孔)分別使用設(shè)置有探針的檢測(cè)用夾具。然而，最近由于配線圖形的微細(xì)化，檢測(cè)點(diǎn)變小，設(shè)置探針的孔所需求的間隔就非常狹小，在加工技術(shù)方面，變得很難制造這類檢測(cè)用夾具。

從這一觀點(diǎn)，在專利文獻(xiàn)1中揭示對(duì)這種小的檢測(cè)點(diǎn)也能使用四探針法的檢測(cè)用夾具。所述檢測(cè)用夾具的探針具有筒狀第一接觸端子，和插入于第一接觸端子的棒狀第二接觸端子。使用這種雙重結(jié)構(gòu)的探針，即使不形成狹小間隔的孔，也可以取得2個(gè)檢測(cè)點(diǎn)的導(dǎo)通。

而且，這種探針是，在檢測(cè)點(diǎn)的相反側(cè)端部連接電極部。電極部是由環(huán)狀第一電極部，和配置在第一電極部的內(nèi)部且具有圓形斷面的第二電極部構(gòu)成。第一接觸端子是與第一電極部接觸，第二接觸端子是與第二電極部接觸。第一電極部及第二電極部連接于執(zhí)行基板檢測(cè)處理的檢測(cè)處理部。

通過這種構(gòu)成，也可以對(duì)很小的檢測(cè)點(diǎn)使用四探針法。

然而，專利文獻(xiàn)1的檢測(cè)用夾具，由于探針及電極部非常小，若有一點(diǎn)尺寸上的誤差，兩者不能適當(dāng)?shù)倪B接，變得電連接性不穩(wěn)定。由此，專利文獻(xiàn)1的檢測(cè)用夾具需要高尺寸精度，從而加工費(fèi)用變高。專利文獻(xiàn)1的檢測(cè)用夾具在這種方面，具有改善余地。

另外，在專利文獻(xiàn)1中，第一接觸端子與第一電極部探針，以及第二接觸端子與第二電極部探針分別只是端部面之間相接觸，在組裝時(shí)等若有位置相錯(cuò)，可能發(fā)生電連接性不穩(wěn)定的情況。

【現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)】

【專利文獻(xiàn)1】

日本專利公開第2012-154670號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于以上的情況而完成的，其主要目的是提供對(duì)微小的檢測(cè)點(diǎn)使用四探針法的檢測(cè)用夾具，提供低成本且電連接性穩(wěn)定的構(gòu)成。

根據(jù)本發(fā)明的第一觀點(diǎn)，提供具有以下構(gòu)成的檢測(cè)用夾具。即，此檢測(cè)用夾具包括：接觸基板上檢測(cè)點(diǎn)的復(fù)數(shù)個(gè)探針；以及將所述探針與對(duì)所述基板上形成的配線進(jìn)行檢測(cè)處理的檢測(cè)處理部相電連接的復(fù)數(shù)個(gè)電極部。所述探針包括芯狀探針和筒狀探針。所述芯狀探針電連接于所述檢測(cè)點(diǎn)。所述筒狀探針是與所述芯狀探針絕緣的狀態(tài)下，配置在所述芯狀探針的外側(cè)，并電連接于所述檢測(cè)點(diǎn)。所述電極部具有內(nèi)筒電極部和外筒電極部。所述內(nèi)筒電極部與插入的所述芯狀探針的外周面接觸，從而電連接于所述芯狀探針。所述外筒電極部是與所述內(nèi)筒電極部絕緣的狀態(tài)下，配置在所述內(nèi)筒電極部的外側(cè)，并電連接于所述筒狀探針。

在所述檢測(cè)用夾具中，在所述芯狀探針的電極部側(cè)的端部形成越往前端外徑變細(xì)的錐形部較好。

在所述檢測(cè)用夾具中，所述外筒電極部的探針側(cè)的端部面的位置比所述內(nèi)筒電極部的探針側(cè)的端部面靠向探針側(cè)較好。

在所述檢測(cè)用夾具中，所述筒狀探針的電極部側(cè)的端部面和所述外筒電極部的探針側(cè)的端部面相接觸，從而所述筒狀探針和所述外筒電極部電連接較好。

在所述檢測(cè)用夾具中，具有以下的構(gòu)成較好。即，所述檢測(cè)用夾具還包括用于插入所述電極部的電極部插入部。在所述外筒電極部的探針側(cè)的端部形成有電極部定位部。所述電極部定位部的厚度及外徑大于所述外筒電極部的所述探針側(cè)的剩余部分。通過所述電極部定位部，所述電極部保持在所述電極部插入部。

在所述檢測(cè)用夾具中，所述內(nèi)筒電極部是以絕緣體包覆較好。

在所述檢測(cè)用夾具中，所述筒狀探針上以長(zhǎng)度方向形成有能彈性變形的彈簧，在所述彈簧縮小的狀態(tài)下，所述探針和所述電極部連接較好。

在所述檢測(cè)用夾具中，具有以下的構(gòu)成較好。即，所述檢測(cè)用夾具還包括探針插入部和探針固定部。在所述探針插入部插入所述探針。所述探針固定部是將所述探針固定在所述探針插入部。在所述筒狀探針形成有外徑比所述筒狀探針之剩余部分大的探針定位部。所述探針定位部和所述探針固定部相接觸，從而所述探針固定在所述探針插入部。

在所述檢測(cè)用夾具中，所述探針的配置間隔是100μm以下較好。

根據(jù)本發(fā)明的第二及第三觀點(diǎn)，提供與所述構(gòu)成相同的電極部及探針。