[發(fā)明專利]化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410520777.0
• 申請日: 2014-09-30
• 公開（公告）號: CN104290023A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁弋;朱也方
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/34
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 王宏婧

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，化學(xué)機械研磨設(shè)備的研磨環(huán)扣(retaining?ring)會發(fā)生脫離，造成晶圓損傷，晶圓直接報廢，造成損失。環(huán)扣脫離的原因是研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈粘結(jié)不牢，在研磨過程中發(fā)生脫離。

具體地，請參考圖1所示的現(xiàn)有的化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。研磨環(huán)扣(retaining?ring，材質(zhì)為PPS，聚苯硫醚)2與研磨頭鋼圈1之間的接觸為平面接觸，兩者之間的膠合不牢固，研磨環(huán)扣2容易與研磨頭鋼圈1脫離。并且，研磨頭鋼圈1中具有通孔3，所述通孔3中會設(shè)置螺絲(圖中未示出)，通過該螺絲將研磨頭鋼圈1與研磨頭固定。在進(jìn)行化學(xué)機械研磨工藝過程中，螺絲會接觸研磨環(huán)扣2，并且對所述研磨環(huán)扣2施加力的作用，會對研磨環(huán)扣2造成損傷并且螺絲的作用力的影響下，存在會加快研磨環(huán)扣2與研磨頭鋼圈1之間脫離。

因此，需要解決現(xiàn)有的研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈之間脫離的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題提供一種化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置，解決了研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈之間平面接觸導(dǎo)致兩者容易脫離的問題。

為解決上述問題，本發(fā)明一種化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置，包括：

研磨頭鋼圈，其具有第一表面和與第一表面相對的第二表面，所述第一表面中設(shè)置有盲孔，所述盲孔的深度小于所述第一表面和第二表面的距離；

研磨環(huán)扣，所述研磨環(huán)扣朝向所述第二表面的表面與所述第二表面之間的接觸面為非平面，以增大研磨環(huán)扣與所述研磨頭鋼圈之間的膠合作用。

可選地，所述第二表面設(shè)置有至少一個鋼圈凹陷或/和鋼圈突起；

所述研磨環(huán)扣的朝向所述第二表面的一側(cè)形成有至少一個環(huán)扣突起和/或環(huán)扣凹陷，所述環(huán)扣突起與所述鋼圈凹陷的形狀和尺寸配合以在所述研磨環(huán)扣和研磨頭鋼圈之間形成非平面接觸，所述環(huán)扣凹陷與所述鋼圈突起的形狀和尺寸配合以在所述研磨環(huán)扣和研磨頭鋼圈之間形成非平面接觸。

可選地，所述研磨環(huán)扣上形成有一個環(huán)扣突起，所述研磨頭鋼圈上形成有鋼圈凹陷，所述環(huán)扣突起與所述鋼圈凹陷配合，將所述研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈之間形成非平面接觸。

可選地，所述鋼圈凹陷位于所述第二表面的中部，所述盲孔的數(shù)目為2個，對稱分布與所述鋼圈凹陷的兩側(cè)。

可選地，所述研磨環(huán)扣的材質(zhì)為聚苯硫醚。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點：

本發(fā)明提供的研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈之間為非平面接觸，增大了兩者之間的膠合作用，使得兩者之間形成更為牢固的結(jié)合，并且，本發(fā)明還將現(xiàn)有的研磨頭鋼圈中的通孔改為盲孔，避免了所述通孔中的螺絲接觸到研磨環(huán)扣，解決了因為螺絲的作用力加劇研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈之間脫落的問題。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有的化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明一個實施例的化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

本發(fā)明通過改變研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈膠合面的形狀，在研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈之間形成非平面的接觸，相應(yīng)的增加了研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈的粘結(jié)力，使得研磨環(huán)扣與研磨頭鋼圈之間不容易脫離，保證了化學(xué)機械研磨過程的穩(wěn)定性。研磨頭鋼圈中的通孔改為盲孔，避免了通孔中的螺絲與研磨環(huán)扣的接觸，避免了上述接觸對研磨環(huán)扣產(chǎn)生作用力而加劇研磨環(huán)扣與研磨頭之間脫離的問題。

具體地，本發(fā)明的化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置，包括：

研磨頭鋼圈，其具有第一表面和與第一表面相對的第二表面，所述第一表面中設(shè)置有盲孔，所述盲孔的深度小于所述第一表面和第二表面的距離；

研磨環(huán)扣，所述研磨環(huán)扣朝向所述第二表面的表面與所述第二表面之間的接觸面為非平面，以增大研磨環(huán)扣與所述研磨頭鋼圈之間的膠合作用。

下面結(jié)合具體的實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的說明。為了更好的說明本發(fā)明的技術(shù)方案，請參考圖2所示的本發(fā)明一個實施例的化學(xué)機械研磨設(shè)備的環(huán)扣鋼圈裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。研磨頭鋼圈10其具有第一表面和與第一表面相對的第二表面，所述研磨頭鋼圈10的第二表面上形成有鋼圈凹陷50，所述第一表面中設(shè)置有兩個盲孔30，所述兩個盲孔30對稱排排布于所述鋼圈凹陷50的兩側(cè)，以使得所述研磨頭鋼圈10受力平衡。所述盲孔30的深度小于所述第一表面和第二表面的距離，從而盲孔30未穿過所述研磨頭鋼圈10。