[發明專利]化學機械研磨設備的環扣鋼圈裝置在審
| 申請號： | 201410520777.0 | 申請日： | 2014-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN104290023A | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發明（設計）人： | 丁弋;朱也方 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/11 | 分類號： | B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 研磨 設備 鋼圈 裝置 | ||
1.一種化學機械研磨設備的環扣鋼圈裝置，其特征在于，包括：
研磨頭鋼圈，其具有第一表面和與第一表面相對的第二表面，所述第一表面中設置有盲孔，所述盲孔的深度小于所述第一表面和第二表面的距離；
研磨環扣，所述研磨環扣朝向所述第二表面的表面與所述第二表面之間的接觸面為非平面，以增大研磨環扣與所述研磨頭鋼圈之間的膠合作用。
2.如權利要求1所述的化學機械研磨設備的環扣鋼圈裝置，其特征在于，所述第二表面設置有至少一個鋼圈凹陷或/和鋼圈突起；
所述研磨環扣的朝向所述第二表面的一側形成有至少一個環扣突起和/或環扣凹陷，所述環扣突起與所述鋼圈凹陷的形狀和尺寸配合以在所述研磨環扣和研磨頭鋼圈之間形成非平面接觸，所述環扣凹陷與所述鋼圈突起的形狀和尺寸配合以在所述研磨環扣和研磨頭鋼圈之間形成非平面接觸。
3.如權利要求2所述的化學機械研磨設備的環扣鋼圈裝置，其特征在于，所述研磨環扣上形成有一個環扣突起，所述研磨頭鋼圈上形成有鋼圈凹陷，所述環扣突起與所述鋼圈凹陷配合，將所述研磨環扣與研磨頭鋼圈之間形成非平面接觸。
4.如權利要求3所述的化學機械研磨設備的環扣鋼圈裝置，其特征在于，所述鋼圈凹陷位于所述第二表面的中部，所述盲孔的數目為2個，對稱分布與所述鋼圈凹陷的兩側。
5.如權利要求1所述的化學機械研磨設備的環扣鋼圈裝置，其特征在于，所述研磨環扣的材質為聚苯硫醚。
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