[發明專利]基于液晶可變相位延遲器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器

在審

• 申請號: 201410515218.0
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN104242035A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 何鐵鋒;陳義紅;陳聰;吳熱平
• 申請（專利權）人: 廣州安特激光技術有限公司
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10;H01S3/101;H01S3/109
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為

技術領域

本發明涉及激光器技術領域，更具體地說，特別涉及一種基于液晶可變相位延遲器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器。

背景技術

激光加工技術作為先進制造技術之一，在傳統產業改造、加工技術革新、國防信息化等方面發揮著重要作用，激光被譽為“萬能加工工具”、未來制造系統的共同加工手段。例如近年來，廣泛應用于薄鋼板、不銹鋼、鋁合金板、硬質合金等金屬材料的切割、打標、沖孔的1064nm紅外激光加工系統；以及最近幾年逐漸興起用于以及最近幾年逐漸興起用于陶瓷片、玻璃、PCB板、太陽能電池片等材料的532nm綠光激光加工系統。

但是目前大部分激光器要不是單一波長輸出，例如，專利“一種532nm綠光激光器(CN201320703515.9)”等，要么是雙波長同時輸出，如專利“紅綠雙波長激光器”(CN02117364.8)等，不能自由切換選擇某一波長輸出或者選擇雙波長同時輸出，即使目前有選擇波長輸出的激光器也是幾種波長分幾路分別同時輸出，相當于幾臺激光器同時使用，如專利“一種風速儀用三端輸出雙532nm與808nm波長光纖激光”(CN201320659650.8)等，無法實現一棒多波長輸出技術，使得激光器應用起來比較繁瑣，不利于工業化現場的應用。

因此，有必要研究一種1064nm及532nm自由切換的激光器，可根據需要改變輸出波長，滿足加工的多樣性的需要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種可根據需要改變輸出波長以滿足加工多樣性的基于液晶可變相位延遲器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器。

為了達到上述目的，本發明采用的技術方案如下：

一種基于液晶可變相位延遲器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，包括1064nm波長諧振腔、532nm波長諧振腔、用于產生激光的泵浦模塊，用于將泵浦模塊產生的激光于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔之間切換的液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統，以及設置于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔出口端的輸出單元。

優選地，還包括依次設置的全反鏡、諧波鏡和第一輸出鏡，所述全反鏡、諧波鏡和第一輸出鏡處于同一光軸上，所述532nm波長諧振腔為由全反鏡、諧波鏡和第一輸出鏡構成的諧振腔，所述液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統設于全反鏡和諧波鏡之間，所述泵浦模塊設于全反鏡與液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統之間。

優選地，還包括設于全反鏡輸出側的第二輸出鏡，所述全反鏡的光軸與第二輸出鏡的光軸相互垂直，所述1064nm波長諧振腔為由全反鏡和第二輸出鏡構成的諧振腔。

優選地，所述液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統包括依次設置的起偏器、液晶可變相位延遲器和偏振分光棱鏡，所述起偏器和液晶可變相位延遲器構成的光路的光軸與全反鏡的光路共線，所述起偏器用于產生一線S偏振光，所述液晶可變相位延遲器用于調制光的偏振以產生S偏振光、S+P偏振光或P偏振光；在液晶可變相位延遲器在未加載電壓時，產生S偏振光，在液晶可變相位延遲器在加載電壓時，產生P偏振光或S+P偏振光；且當液晶可變相位延遲器產生S偏振光時，該S偏振光經偏振分光棱鏡輸出至1064nm波長諧振腔中產生1064nm波長激光，當液晶可變相位延遲器產生P偏振光時，該P偏振光經偏振分光棱鏡輸出至532nm波長諧振腔中產生532nm波長激光，當液晶可變相位延遲器產生S+P偏振光時，該S+P偏振光經偏振分光棱鏡輸出至1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔中分別產生1064nm波長激光和532nm波長激光。

優選地，所述泵浦模塊包括泵浦源和晶體，所述泵浦源和晶體形成側面抽運模塊式結構。

優選地，還包括設于全反鏡與晶體之間的Q開關。

優選地，還包括設于諧波鏡和第一輸出鏡之間的倍頻晶體。

優選地，所述輸出單元為二向色鏡，所述第二輸出鏡與二向色鏡之間還依次設有第一反射鏡和第二反射鏡，所述二向色鏡用于輸出第一輸出鏡所輸出的532nm波長激光或/和用于輸出第二反射鏡所反射的1064nm波長激光。