[發明專利]基于液晶可變相位延遲器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器

在審

• 申請號: 201410515218.0
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN104242035A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 何鐵鋒;陳義紅;陳聰;吳熱平
• 申請（專利權）人: 廣州安特激光技術有限公司
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10;H01S3/101;H01S3/109
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為

1.一種基于液晶可變相位延遲器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：包括1064nm波長諧振腔、532nm波長諧振腔、用于產生激光的泵浦模塊，用于將泵浦模塊產生的激光于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔之間切換的液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統，以及設置于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔出口端的輸出單元。

2.根據權利要求1所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括依次設置的全反鏡(1)、諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)，所述全反鏡(1)、諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)處于同一光軸上，所述532nm波長諧振腔為由全反鏡(1)、諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)構成的諧振腔，所述液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統設于全反鏡(1)和諧波鏡(8)之間，所述泵浦模塊設于全反鏡(1)與液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統之間。

3.根據權利要求2所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于全反鏡(1)輸出側的第二輸出鏡(12)，所述全反鏡(1)的光軸與第二輸出鏡(12)的光軸相互垂直，所述1064nm波長諧振腔為由全反鏡(1)和第二輸出鏡(12)構成的諧振腔。

4.根據權利要求3所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述液晶可變相位延遲器型波長自由切換系統包括依次設置的起偏器(5)、液晶可變相位延遲器(6)和偏振分光棱鏡(7)，所述起偏器(5)和液晶可變相位延遲器(6)構成的光路的光軸與全反鏡(1)的光路共線，所述起偏器(5)用于產生一線S偏振光，所述液晶可變相位延遲器(6)用于調制光的偏振以產生S偏振光、S+P偏振光或P偏振光；在液晶可變相位延遲器(7)在未加載電壓時，產生S偏振光，在液晶可變相位延遲器(7)在加載電壓時，產生P偏振光或S+P偏振光；且當液晶可變相位延遲器(6)產生S偏振光時，該S偏振光經偏振分光棱鏡(7)輸出至1064nm波長諧振腔中產生1064nm波長激光，當液晶可變相位延遲器(6)產生P偏振光時，該P偏振光經偏振分光棱鏡(7)輸出至532nm波長諧振腔中產生532nm波長激光，當液晶可變相位延遲器(6)產生S+P偏振光時，該S+P偏振光經偏振分光棱鏡(7)輸出至1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔中分別產生1064nm波長激光和532nm波長激光。

5.根據權利要求4所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述泵浦模塊包括泵浦源(3)和晶體(4)，所述泵浦源(3)和晶體(4)形成側面抽運模塊式結構。

6.根據權利要求5所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于全反鏡(1)與晶體(4)之間的Q開關(2)。

7.根據權利要求6所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)之間的倍頻晶體(9)。

8.根據權利要求7所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述輸出單元為二向色鏡(11)，所述第二輸出鏡(12)與二向色鏡(11)之間還依次設有第一反射鏡(13)和第二反射鏡(14)，所述二向色鏡(11)用于輸出第一輸出鏡(10)所輸出的532nm波長激光或/和用于輸出第二反射鏡(14)所反射的1064nm波長激光。

9.根據權利要求8所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述全反射(1)為平面鏡，其右面鍍有1064nm高反膜；所述晶體(4)的兩面均鍍1064nm增透膜；所述起偏器(5)的兩面和液晶可變相位延遲器(6)的兩面均鍍有1064nm增透膜，所述偏振分光棱鏡(7)的三面均鍍有1064nm增透膜；所述諧波鏡(8)為平面鏡，其右面鍍有1064增透膜，其左面鍍有1064nm高透膜和532nm高反膜；所述倍頻晶體(9)的兩面均鍍有1064nm和532nm增透膜；所述第一輸出鏡(10)為平面鏡，其兩面均鍍有1064nm高反和532nm高透膜；所述第二輸出鏡(12)為平面鏡，其兩面均鍍有透過率為30％的1064nm透膜；所述二向色鏡(11)的左面鍍有1064nm高反膜、532nm增透，其右面鍍有1064nm高反膜和532nm高透膜；所述第一反射鏡(13)和第二反射鏡(14)的反射面均鍍1064nm高反膜。