[發(fā)明專利]輔助定位工裝及三軸定位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410508728.5
• 申請日: 2014-09-28
• 公開（公告）號: CN104400703A
• 公開（公告）日: 2015-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉子優(yōu);吳鳳麗;朱超群
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽拓荊科技有限公司
• 主分類號: B25B11/02
• 分類號: B25B11/02
• 代理公司: 沈陽維特專利商標事務(wù)所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是一種為真空機械手手指在安裝時使用的輔助定位工裝，主要應(yīng)用于等離子體增強化學(xué)氣象沉積設(shè)備中，通過三軸定位的功能來實現(xiàn)手指安裝位置的重復(fù)性。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域。?

背景技術(shù)

在12寸的PECVD(等離子體增強化學(xué)氣象沉積)設(shè)備中，由于設(shè)備沉積溫度較高，所以真空機械手的手指需采用耐高溫的陶瓷材料，而且真空機械手存在結(jié)構(gòu)上的限制，手指的連接處沒有精確的定位裝置。傳統(tǒng)的安裝方法是靠安裝者的手法及經(jīng)驗來保證精度，手指安裝后需要反復(fù)進行傳片驗證和微調(diào)，工作效率較低。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有真空機械手手指安裝時定位精度不高，效率低下的問題。?

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：輔助定位工裝，由一個工裝主體構(gòu)成。工裝主體的頂端部位設(shè)有調(diào)整螺栓A及疊簧。調(diào)整螺栓A及疊簧可完成對手指安裝時俯仰角度的調(diào)整。工裝主體前部的兩側(cè)設(shè)有對稱的兩個水平限位塊，與兩個水平限位塊相垂直的方向制有垂直限位塊。所述水平限位塊與垂直限位塊配合可完成對手指位置的限制，使手指與工裝固定。工裝主體末端設(shè)有兩個對稱的擋塊，擋塊的垂直方向制有末端擋塊，可配合機械手的手臂寬度。上述每個擋塊是由兩個小擋塊構(gòu)成。當工裝主?體與機械手手臂組合后使工裝的下表面與手臂的上表面貼合，利用工裝主體末端擋塊，將工裝主體與機械手手臂固定，在安裝機械手手指時將以一個固定的方式連接至手臂處，這時由于定位工裝的存在，手指無法竄動，定位完成。上述工裝主體上設(shè)計有觀察窗，通過觀察窗可觀察到機械手手臂的連接螺栓位置，將螺栓固定，手指安裝完成。?

輔助定位工裝的三軸定位方法是通過下述步驟實現(xiàn)的：?

1、根據(jù)定位工裝主體在結(jié)構(gòu)上的設(shè)計，當工裝主體放置在機械手手臂上時，機械手手臂嵌在兩個擋塊之間，手臂的寬度與兩個擋塊之間的寬度為配合尺寸，工裝主體在X軸方向上便無法移動。在安裝機械手手指時，手指嵌在兩個水平限位塊之間，手指的寬度與水平限位塊之間的寬度為配合尺寸，手指在X軸的方向上也無法移動，此時手指與手臂在X軸方向的位置便保持一致，完成了X軸方向上的定位。?

2、將工裝主體上的末端擋塊與機械手手臂沿Z軸方向緊貼，保持此位置時，將機械手手指的Z軸連接處沿Z軸方向與垂直限位塊貼緊，手指和手臂在Z軸上的位置便固定，完成Z軸的定位。?

3、擰動工裝主體上的調(diào)整螺栓A，螺栓的弧面與手指上表面相切，限制了手指的沿Y軸向上的位置，疊簧的存在使螺栓在靜止時無法竄動，當位置微調(diào)好后不在擰動調(diào)整螺栓A，機械手手指上表面緊貼螺栓弧面，完成Y軸方向上的定位，至此，完成三軸定位。?

本發(fā)明的有益效果是：1、在安裝機械手手指時使其三軸立體定位，提高了安裝精度及安裝重復(fù)性。2、效率提高，減少了安裝后微調(diào)的工作量。?

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖2是圖1的后視圖。?

圖3是放大的調(diào)整螺栓的示意圖。?

圖4是真空機械手手指結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖5是真空機械手手指與真空機械手連接示意圖。?

圖6是使用工裝將真空機械手手指安裝至真空機械手上的示意圖。?

圖7是使用工裝將真空機械手手指安裝至真空機械手上的后視圖。?

圖8是使用工裝將真空機械手手指安裝至真空機械手上的側(cè)視圖。?

具體實施方式

實施例：?

參照圖1-3，輔助定位工裝，由一個工裝主體13構(gòu)成。工裝主體13的頂端部位設(shè)有調(diào)整螺栓A3及疊簧4。調(diào)整螺栓A3及疊簧4可完成對手指安裝時俯仰角度的調(diào)整。工裝主體13前部的兩側(cè)設(shè)有對稱的兩個水平限位塊5，與兩個限位塊5相垂直的方向制有垂直限位塊6。所述水平限位塊5與垂直限位塊6配合可完成對機械手手指位置的限制，使手指與工裝固定。工裝主體13末端設(shè)有兩個對稱的擋塊1，兩個擋塊1之間的尺寸與機械手的手臂寬度為配合尺寸，擋塊1的垂直方向制有末端擋塊2。當工裝主體13與機械手手臂組合后使工裝的下表面與手臂的上表面貼合，利用工裝主體末端的擋塊2，將工裝主體13與機械手手臂固定，在安裝機械手手指時將以一個固定的方式連接至手臂處，這時由于定位工裝的存在，手指無法竄動，定位完成。上述工裝主體13上設(shè)計有觀察窗7，通過觀察窗7可觀察到機械手?手臂的連接螺栓位置，將螺栓固定，手指安裝完成。?

上述調(diào)整螺栓3的端面呈圓形，并且有較高的光潔度，不會對機械手手指產(chǎn)生劃傷，?