[發(fā)明專利]陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410505974.5
• 申請日: 2014-09-26
• 公開（公告）號: CN104280904A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林金升;趙海生;田超;范曉帥;溫召虎
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G09G3/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種陣列基板檢測頭，用于對陣列基板上的多個陣列電路進行檢測，其特征在于，所述陣列基板檢測頭包括：

檢測頭本體；

設(shè)置在所述檢測頭本體上、用于向所述陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件；

設(shè)置在所述檢測頭本體上、用于檢測所述陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板檢測頭，其特征在于，所述探針組件由至少一個探針模塊組成，每個探針模塊包括：

用于獲取測試信號的信號獲取單元；

與所述信號獲取單元連接的預設(shè)數(shù)量的探針結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板檢測頭，其特征在于，所述探針結(jié)構(gòu)包括：

設(shè)置有氣管接口的氣缸；

位于所述氣缸內(nèi)部的活塞，所述活塞與所述氣缸之間形成一封閉空間；

位于所述封閉空間內(nèi)的彈簧，所述彈簧的一端固定在活塞上，另一端固定在所述氣缸的端部；

設(shè)置在所述活塞上、位于所述封閉空間外的探針頭，所述探針頭通過信號引線與所述信號獲取單元連接。

4.一種陣列基板檢測裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-3中任一項所述的陣列基板檢測頭，所述檢測裝置還包括：

用于放置待測試的陣列基板的測試機臺；

設(shè)置在所述測試機臺上、用于控制所述陣列基板檢測頭在設(shè)備X軸、設(shè)備Y軸和設(shè)備Z軸上移動的移動控制組件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的陣列基板檢測裝置，其特征在于，所述移動控制組件包括：

沿設(shè)備Y軸方向設(shè)置在所述測試機臺上的支架；

沿設(shè)備X軸方向設(shè)置在所述支架上、能夠在所述支架上沿設(shè)備Y軸方向移動的支撐桿；

沿設(shè)備Z軸方向設(shè)置、第一端與所述支撐桿可移動連接的伸縮桿，所述伸縮桿能夠沿所述支撐桿移動；

其中，所述陣列基板檢測頭固定在所述伸縮桿的第二端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的陣列基板檢測裝置，其特征在于，

所述支架上設(shè)置有沿設(shè)備Y軸方向排布、相對的第一導軌和第二導軌，所述第一導軌和第二導軌上分別設(shè)置有第一滑塊和第二滑塊；

所述支撐桿的第一端固定在所述第一滑塊上，所述支撐桿的第二端固定在所述第二滑塊上。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的陣列基板檢測裝置，所述支撐桿上設(shè)置有沿設(shè)備X軸方向排布的第三導軌，所述第三導軌上設(shè)置有第三滑塊，所述伸縮桿的第一端固定在所述第三滑塊上。

8.一種陣列基板檢測方法，其特征在于，應用于如權(quán)利要求4-7中任一項所述的檢測裝置，所述檢測方法包括：

將待測試的陣列基板放置在所述測試機臺上；

利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板檢測方法，其特征在于，所述利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試包括：

步驟a：通過所述移動控制組件將所述陣列基板檢測頭移動至一未檢測的陣列電路上方，并通過所述移動控制組件使所述陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸；

步驟b：通過所述探針組件向所述陣列電路上的信號端點加載測試信號；

步驟c：通過所述檢測電路檢測所述陣列電路傳遞的測試信號；

重復上述步驟a-c，直至對所述陣列基板上的所有陣列電路完成檢測。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陣列基板檢測方法，其特征在于，所述步驟a包括：

控制所述支撐桿在設(shè)備Y軸方向上的移動，使所述支撐桿移動至所述陣列電路正上方；

控制所述伸縮桿在設(shè)備X軸方向上的移動，使所述伸縮桿移動至所述陣列電路正上方；

控制所述伸縮桿的伸縮，位于所述伸縮桿端部的陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸。