[發明專利]陣列基板的制造方法，陣列基板及顯示裝置

有效

• 申請號: 201410498639.7
• 申請日: 2014-09-25
• 公開（公告）號: CN104252078B
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 郤玉生;王章濤;李承珉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1343;G02F1/1339;H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及薄膜場效應晶體管液晶顯示領域，特別涉及一種陣列基板的制造方法，陣列基板及顯示裝置。

背景技術

在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，簡稱TFT-LCD)的制造過程中，陣列基板和彩膜基板對盒形成中間設置有液晶的顯示面板，柱狀隔墊物通常起到支撐液晶盒厚的作用，柱狀隔墊物可以位于陣列基板上的柵線和/或數據線的對應區域中。柱狀隔墊物可形成在彩膜基板上，與彩膜基板上的柱狀隔墊物相對應地，陣列基板上可形成所述柱狀隔墊物的襯墊，用于與所述柱狀隔墊物相互配合起作用。

在濺射形成金屬線的過程中，如圖1所示，由于濺射設備的缺陷使得靶材10正對的位置和與靶材之間相對的位置形成的金屬線的金屬層的厚度有一定的差異，靶材正對的位置形成的金屬層比與靶材之間相對的位置形成的金屬層厚。這樣，靶材正對位置的柱狀隔墊物襯墊比與靶材之間相對的位置的柱狀隔墊物襯墊高，即柱狀隔墊物襯墊的高度有差異，造成液晶顯示器亮度不均，從而導致液晶顯示器顯示各種痕跡，如可能是橫向條紋，豎向條紋，無規則的痕跡等等。

發明內容

本發明實施方式提供了一種陣列基板的制造方法，陣列基板及顯示裝置，為降低柱狀隔墊物襯墊的高度差異提供了條件。

為達到上述目的，本發明實施方式提供以下技術方案：

一種陣列基板的制造方法，包括如下步驟：

形成透明導電層，其包括透明導電電極和透明襯墊，所述透明襯墊在襯底基板上的投影位于第一柵線區域和/或第一數據線區域內；

其中，襯底基板上需要形成柵線和數據線的區域分別為柵線走線區域和數據線走線區域，在濺射形成柵線時與靶材之間相對的柵線走線區域為第一柵線區域，在濺射形成數據線時與靶材之間相對的數據線走線區域為第一數據線區域。

優選的，所述透明導電層形成在襯底基板之上為第一透明導電層，所述第一透明導電層的透明導電電極為第一透明導電電極，所述第一透明導電層的透明襯墊為第一透明襯墊且所述第一透明襯墊位于第一柵線區域內；

所述陣列基板的制造方法還包括如下步驟：

在第一透明襯墊和襯底基板的柵線走線區域之上形成柵線；

在柵線和形成有第一透明導電層及柵線的襯底基板之上形成柵絕緣層；

在柵絕緣層之上形成數據線；

在數據線和柵絕緣層之上形成保護層。

優選的，所述透明導電層還形成在保護層之上為第二透明導電層，所述第二透明導電層的透明導電電極為第二透明導電電極，所述第二透明導電層的透明襯墊為第二透明襯墊且所述第二透明襯墊位于第一柵線區域上方的保護層之上。

優選的，還包括如下步驟：

在襯底基板的柵線走線區域之上形成柵線；

在柵線和形成有柵線的襯底基板之上形成柵絕緣層；

在柵絕緣層之上形成數據線；

在數據線和柵絕緣層之上形成保護層；

所述透明導電層形成在保護層之上，其中，所述透明襯墊位于第一柵線區域上方的保護層之上。

優選的，所述透明導電層為銦錫氧化物層。

本發明實施方式還提供以下技術方案：

一種陣列基板，包括：

襯底基板；

形成在襯底基板上方的透明襯墊且所述透明襯墊在襯底基板上的投影位于第一柵線區域和/或第一數據線區域內；

其中，襯底基板上需要形成柵線和數據線的區域分別為柵線走線區域和數據線走線區域，在濺射形成柵線時與靶材之間相對的柵線走線區域為第一柵線區域，在濺射形成數據線時與靶材之間相對的數據線走線區域為第一數據線區域。

優選的，所述透明襯墊形成在襯底基板第一柵線區域內為第一透明襯墊；

所述陣列基板還包括形成在第一透明襯墊和襯底基板的柵線走線區域之上的柵線，形成在柵線和形成有第一透明導電層及柵線的襯底基板之上的柵絕緣層，形成在柵絕緣層之上的數據線，形成在數據線和柵絕緣層之上的保護層；

所述第一柵線區域內的第一透明襯墊，柵線，柵絕緣層，數據線和保護層形成第一柱狀隔墊物襯墊，所述第二柵線區域內的柵線，柵絕緣層，數據線和保護層形成第二柱狀隔墊物襯墊；其中，在濺射形成柵線時與靶材相對的柵線走線區域為第二柵線區域。

優選的，所述透明襯墊還形成在第一柵線區域上方的保護層之上為第二透明襯墊；所述第一柱狀隔墊物襯墊還包括所述第二透明襯墊。