[發(fā)明專利]一種金屬鍍層厚度自動控制裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410496647.8
• 申請日: 2014-09-25
• 公開（公告）號: CN105506572A
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發(fā)明（設計）人: 張德強
• 申請（專利權(quán)）人: 江門市兆業(yè)科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/14;C23C14/24
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 倫榮彪

1.一種金屬鍍層厚度自動控制裝置，其特征在于，包括鋁蒸發(fā)槽、與鋁蒸發(fā)槽一端安裝連接并與其端面配合形成真空狀態(tài)的真空密封端面、固定設于真空密封端面內(nèi)側(cè)并置于鋁蒸發(fā)槽內(nèi)的固定電極、設于固定電極上的蒸發(fā)舟、蒸發(fā)舟連接的活動電極；所述的蒸發(fā)舟上設有在線檢測薄膜鍍層厚度并可調(diào)節(jié)蒸發(fā)舟功率的鍍層厚度自動控制器；所述的鍍層厚度自動控制器由啟動單元、與啟動單元連接并設定薄膜鍍層厚度的鍍層厚度設定單元、與鍍層厚度設定單元連接并在線檢測鍍層厚度的在線檢測單元、與在線監(jiān)測單元連接并接收在線監(jiān)測單元檢測合格信號的循環(huán)工作執(zhí)行單元、循環(huán)工作執(zhí)行單元分別連接有結(jié)束停止單元和鍍層厚度設定單元并反饋信號至鍍層厚度設定單元循環(huán)工作；所述的在線檢測單元還連接有接收在線檢測單元發(fā)出不合格信號并可調(diào)節(jié)蒸發(fā)舟功率的蒸發(fā)舟功率調(diào)節(jié)單元，蒸發(fā)舟功率調(diào)節(jié)單元循環(huán)連接在線檢測單元并傳達重新檢測信號至在線檢測單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬鍍層厚度自動控制裝置，其特征在于，于固定電極上橫向陣列安裝有八個蒸發(fā)舟，每個蒸發(fā)舟均單獨連接一個活動電極。