[發(fā)明專利]一種金屬鍍層厚度自動控制裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410496647.8
• 申請日: 2014-09-25
• 公開（公告）號: CN105506572A
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張德強
• 申請（專利權(quán)）人: 江門市兆業(yè)科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/14;C23C14/24
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 倫榮彪

1.一種金屬鍍層厚度自動控制裝置，其特征在于，包括鋁蒸發(fā)槽、與鋁蒸發(fā)槽一端安裝連接并與其端面配合形成真空狀態(tài)的真空密封端面、固定設(shè)于真空密封端面內(nèi)側(cè)并置于鋁蒸發(fā)槽內(nèi)的固定電極、設(shè)于固定電極上的蒸發(fā)舟、蒸發(fā)舟連接的活動電極；所述的蒸發(fā)舟上設(shè)有在線檢測薄膜鍍層厚度并可調(diào)節(jié)蒸發(fā)舟功率的鍍層厚度自動控制器；所述的鍍層厚度自動控制器由啟動單元、與啟動單元連接并設(shè)定薄膜鍍層厚度的鍍層厚度設(shè)定單元、與鍍層厚度設(shè)定單元連接并在線檢測鍍層厚度的在線檢測單元、與在線監(jiān)測單元連接并接收在線監(jiān)測單元檢測合格信號的循環(huán)工作執(zhí)行單元、循環(huán)工作執(zhí)行單元分別連接有結(jié)束停止單元和鍍層厚度設(shè)定單元并反饋信號至鍍層厚度設(shè)定單元循環(huán)工作；所述的在線檢測單元還連接有接收在線檢測單元發(fā)出不合格信號并可調(diào)節(jié)蒸發(fā)舟功率的蒸發(fā)舟功率調(diào)節(jié)單元，蒸發(fā)舟功率調(diào)節(jié)單元循環(huán)連接在線檢測單元并傳達(dá)重新檢測信號至在線檢測單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬鍍層厚度自動控制裝置，其特征在于，于固定電極上橫向陣列安裝有八個蒸發(fā)舟，每個蒸發(fā)舟均單獨連接一個活動電極。