[發明專利]固態攝像裝置、固態攝像裝置的制造方法以及電子設備

有效

• 申請號: 201410493747.5
• 申請日: 2014-09-24
• 公開（公告）號: CN104517982B
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 岡治
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;H01L27/148;H04N5/335
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 曹正建;陳桂香

1.一種固態攝像裝置，其包括：

攝像像素，其包括微透鏡以及用于接收從所述微透鏡入射的光的光電轉換單元；以及

焦點檢測像素，其包括微透鏡、光電轉換單元以及用于遮擋入射到所述焦點檢測像素中的所述光電轉換單元上的部分光的遮光單元，

其中，所述攝像像素中的所述微透鏡和所述焦點檢測像素中的所述微透鏡形成為具有相同的形狀和尺寸并且具有相同的材料，并且

所述焦點檢測像素還包括形成在所述焦點檢測像素中的所述微透鏡的下層的具有比所述微透鏡高的折射率的高折射率膜，所述攝像像素還包括形成在所述攝像像素中的所述微透鏡的下層的具有比所述微透鏡低的折射率的低折射率膜，或者所述攝像像素還包括形成在所述攝像像素中的所述微透鏡的下層的波導。

2.如權利要求1所述的固態攝像裝置，其中，所述攝像像素中的所述微透鏡具有位于所述攝像像素中的所述光電轉換單元上的集光點，并且所述焦點檢測像素中的所述微透鏡具有位于所述遮光單元上的集光點。

3.如權利要求1所述的固態攝像裝置，其中，所述高折射率膜由SiN、丙烯酸系樹脂、硅氧烷以及平坦化膜中的一者形成。

4.如權利要求1所述的固態攝像裝置，其中，所述低折射率膜由SiO形成。

5.如權利要求3所述的固態攝像裝置，其中，所述低折射率膜形成為具有如下厚度，該厚度對應于穿過所述攝像像素所具有的色彩濾光器的光的波長范圍。

6.如權利要求1所述的固態攝像裝置，其中，所述波導將從所述攝像像素中的所述微透鏡入射的光引導至所述攝像像素中的所述光電轉換單元。

7.如權利要求6所述的固態攝像裝置，其中，所述波導由用于傳輸光的芯體以及用于對通過所述芯體傳輸的光進行封閉的包覆層構成，

所述芯體由高折射率材料形成，并且

所述包覆層由具有比所述高折射率材料低的折射率的低折射率材料形成。

8.如權利要求7所述的固態攝像裝置，其中，所述芯體由SiN、丙烯酸系樹脂以及硅氧烷中的一者形成。

9.如權利要求7所述的固態攝像裝置，其中，所述包覆層由SiO形成。

10.一種固態攝像裝置的制造方法，所述固態攝像裝置包括攝像像素和焦點檢測像素，所述攝像像素包括微透鏡以及用于接收從所述微透鏡入射的光的光電轉換單元，所述焦點檢測像素包括微透鏡、光電轉換單元以及用于遮擋入射到所述焦點檢測像素中的所述光電轉換單元上的部分光的遮光單元，所述固態攝像裝置的制造方法包括：

在所述焦點檢測像素中的所述微透鏡的下層形成具有比所述微透鏡高的折射率的高折射率膜，在所述攝像像素中的所述微透鏡的下層形成具有比所述微透鏡低的折射率的低折射率膜，或者在所述攝像像素中的所述微透鏡的下層形成波導；并且

以相同的材料且以相同的形狀和尺寸形成所述攝像像素中的所述微透鏡和所述焦點檢測像素中的所述微透鏡。

11.一種包括如權利要求1-9中任一項所述的固態攝像裝置的電子設備。